研究課題/領域番号 |
62850107
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研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
加藤 信介 東京大学生産技術研究所, 第5部, 助教授 (00142240)
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研究分担者 |
田中 幸彦 フジタ工業技術研究所, 研究員
須山 善美 間組技術研究所, 研究員
持田 灯 東京大学, 生産技術研究所・計則技術開発センター, 助手 (00183658)
村上 周三 東京大学, 生産技術研究所・計則技術開発センター, 教授 (40013180)
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キーワード | クリーンルーム / 清浄環境 / 給排気システム / 換気効率 / 気流性状 / 汚染生拡散性状 / 模型実験 / 数値シュミレーション |
研究概要 |
天井給排気型の標準コンベンショナルフロー型クリーンルームのプロトタイプを数種類設定し、模型実験によりその代表的な気流性状、汚染質拡散性状を測定した。又、κーε型2方程式乱流モデルを基礎とする数値シュミレーションによりこの模型実験との基本的な対応関係を確認するとともに各種パラメーターを系統的に変化させた一連の数値シュミレーションを行い、クリーンルーム内の気流性状、汚染質拡散性状の解析を行った。さらにこれらの気流性状、汚染質拡散性状解析結果に対し実用的な換気効率指標を用いて具体的に数値を算出し、設計データとして分類整理した。
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