| 研究課題/領域番号 |
62850118
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
藤川 辰一郎 東北大学, 工学部, 助手 (50005344)
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| 研究分担者 |
中嶋 英雄 東北大学, 金属材料研究所, 助教授 (30134042)
板垣 喜一 技研エンジニアリングサービス, 理科学製造機器, 技師
平野 賢一 東北大学, 工学部, 教授 (10005209)
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| キーワード | 拡散 / スパッタ / イオンビーム / 拡散係数 / イオン源 |
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| 研究概要 |
イオンビーム・スパッタ技術を利用し、各種の固体におけるサブミクロンの深さの拡散帯から小さな拡散係数を測定するための超精度マイクロセクショニング装置の調整を昭和62年度に引続き行なった。デュオプラズマトロン型イオン源およびプラズマトロン電源の安定性を調べた。高性能の試料保持装置および回収用フィルム巻き取り装置を製作し、各種物質のスパッタ速度の加速電圧依存性を調べた。本装置を用いて、ω中の不純物拡散係数を測定した。
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