研究課題/領域番号 |
62890002
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研究機関 | 東北大学 |
研究代表者 |
矢田 慶治 東北大学, 科学計測研究所, 教授 (60006129)
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研究分担者 |
浜 清 早稲田大学, 人間科学部, 教授 (90028267)
片桐 信二郎 電子光学研究所, 所長
高橋 昭一 東北大学, 科学計測研究所, 助手 (70006138)
山戸 吉雄 東北大学, 科学計測研究所, 講師 (20006141)
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キーワード | X線顕微鏡 / 投影型 / 電界放射 |
研究概要 |
パルス電界電子源によりX線強度を飛躍的に増強して、光学顕微鏡よりすぐれた分解能をもつ投影型X線顕微鏡を開発するため、次の諸課題を実施した。 (1)X線顕微鏡本体の製作、超高眞空排気 静電型電子レンズを備えたX線顕微鏡本体の設計製作を終了し、目下超高眞空排気の準備を行っている。(排気管工作の遅れのため予定より遅延) (2)パルス高圧電源の組立て調整 パルス波を発生できるファンクションゼネレータに増巾器を結合し、約150ボルトのパルス電圧を発生させ、さらに高周波トランスで増巾して3ー5kVの引出し電圧を得た。これに10kVまで出せる直流電源を重疊して使用する。 (3)最良のターゲット材料の選定 0.1μmよりも良い分解能で生物試料の微細構造をX線的に観察する際、如何にして充分な像コントラストをつけるかが問題で、この目的のためターゲット材料を再検討した。その結果、Ge、Ta、Auが適していることが解った。すなわち、Taは10kVで用いると在来のTiよりすぐれた結果を与えること、さらに空気によるX線の減衰を減らすことによって、10〓の波長を出すGeの特微が生かされ、無染色の細胞や筋組織もその微細構造が観察できるようになった。また0.1μmより良い分解能が達成された。 (4)電界放射型X線顕微鏡の予備実験 古い市販の電界放射型走査顕微鏡の鏡体及び電源を改造して投影型X線顕微鏡として予備実験を行なった。その結果加速電圧5ー6kVの電界放射ビームとAuターゲットを用いて極めてコントラストの良い像を得ることができた。
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