| 研究課題/領域番号 |
63420036
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
後藤 俊夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (50023255)
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| 研究分担者 |
平松 美根男 名城大学, 理学部, 助手 (50199098)
岸本 茂 名古屋大学, 工学部, 教務員 (10186215)
河野 明広 名古屋大学, 工学部, 助教授 (40093025)
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| キーワード | 縦型放電励起 / 高速紫外パルスレーザ / 自動予備電離方式 / 窒素レーザ / XeClエキシマレーザ / 準安定準位密度 / レーザ吸収分光測定 / 電子密度測定 |
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| 研究概要 |
研究目的
窒素及びエキシマレーザの励起法として縦型放電励起を用いると装置が小型になり、良質なレーザビームが得られるが、現在まで有効な予備電離方式がなく、十分研究されてこなかった。しかし最近我々は新しい予備電離方式及び放電管形状を考案し、実用的に魅力のある小型縦型放電励起の窒素及びエキシマレーザの発振に初めて成功した。本研究の目的はこの縦型放電励起の窒素及びXeClエキシマレーザの装置的研究及び物性的研究を系統的に行い、実用化の基礎を確立することである。
63年度研究成果
1.レーザ装置の設計・製作
サイラトロンを含む励起回路系、自動予備電離方式の距型及び丸型レーザ管、ガス供給及び再生装置を設計し、レーザ装置を製作した。
2.丸型断面の縦型放電励起窒素レーザの研究
レーザ出力特性を詳細に調ベ、ガス圧力(全ガス圧力、混合比)、回路パラメータ(コンデンサ容量、充電電圧、インダクタンス等)、管径及び放電長等の最適条件を決定した。
3.矩型断面の縦型放電励起窒素レーザの研究
矩型断面のレーザ管を考案して、2の丸型レーザより大きなレーザ出力を得ることに成功し、その出力特性を測定した。
4.窒素及びXeClエキシマレーザのOES(発光分光法)測定
最適条件付近でレーザ放電からの発光スペクトルのOES測定を行い放電内に存在する不純物の種類と相対量を調べた。
5.窒素及びエキシマレーザ用放電内の電子密度測定系の設計・製作
シュタルク幅法による測定系の準備、及び干渉測定用炭酸ガスレーザ装置の製作を行った。
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