• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

1989 年度 実績報告書

融液凝固法による単結晶育成プロセスにおける流動・伝熱過程に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 63460095
研究機関東京大学

研究代表者

棚沢 一郎  東京大学, 生産技術研究所, 教授 (30013105)

研究分担者 前川 透  東洋大学, 工学部, 助教授 (40165634)
キーワード伝熱 / 流れ / 材料製造 / 単結晶 / チョクラルスキ-法 / 引き上げ凝固法
研究概要

本研究は、チョクラルスキ-法(Czochralski method)による単結晶育成において、るつぼ内に生じている融液の流動および伝熱過程について基本的理解を深めること、特に凝固の際に結晶内に出現する成長縞(ストライエ-ション)の発生機構を伝熱学的に解明することを目的とするものである。前年度に行ったモデル実験(流動・伝熱の可視化)および大型計算機による数値シミュレ-ションの結果、るつぼ内では、浮力による自然対流と回転による強制対流の相互干渉のために、流れと温度場の周期的変動が生じうることが明らかとなった。しかも、このような変動の周期が実際の結晶中の成長縞の周期とほぼ一致することから、成長縞の成因は流れの振動であろうという結論に達した。本年度は、このような融液内の変動流を抑制する手段として有効と考えられる外部磁場の効果について理論的検討を行った。まず近似解析および数値計算によって、導電性流体の自然対流に及ぼす磁場の影響について調べ、ある臨界値以上の磁場を印加すると、液体の流速が急激に減少するようになること、そしてこのような流速の減少の割合は磁場の強さの2乗に比例することを明らかにした。次に、チョクラルスキ-法による実際の単結晶育成プロセスについて、ガリウムひ素(CaAs)の物性値を与えた数値計算を行い、ある程度以上の強さの磁場を印加することにより、融液内の流れの変動を完全に抑制することができることを確認した。

  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] 宗像鉄雄: "融液よりの結晶育成過程における磁場の効果" 日本機械学会論文集. 54. 2545-2549 (1989)

  • [文献書誌] 棚沢一郎: "融液からの単結晶育成における熱と流れの問題" 生産研究. 4. 205-210 (1989)

  • [文献書誌] T.Maekawa: "Effect of Magnetic Field and Bouyancy on Onset of Marangoni Convection" Int.J.Heat Mass Transfer. 32. 1377-1380 (1989)

  • [文献書誌] 宗像鉄雄: "チョクラルスキ-法による単結晶育成時の融液中の対流現象と磁場による変動抑制に関する研究" 日本機械学会論文集(B編). 55. 2610-2617 (1989)

URL: 

公開日: 1993-03-26   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi