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1989 年度 研究成果報告書概要

パルスイオンビ-ムによる材料表面の改質に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 63550065
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 機械材料工学
研究機関山梨大学

研究代表者

鷹合 徹也  山梨大学, 工学部, 教授 (80020460)

研究分担者 八井 浄  長岡技術科学大学, 教授 (80029454)
福島 明  山梨大学, 工学部, 助手 (90181255)
研究期間 (年度) 1988 – 1989
キーワードパルスイオンビ-ム / 金属チタン表層部 / B,Nイオン注入 / X線解析 / ESCA / 残留応力 / 溶融蒸発 / 急速冷却
研究概要

長岡技術科学大学との共同研究により、各種材料表面にエネルギ-密度の高いイオンビ-ムを投入し、材料表面の改質、向上を計ることを目的とした研究を推進した。長岡技術科学大学、山梨大学工学部化学生物工学科の関係教官の協力と長岡技術大に設置されたMeV級の鷹エネルギ-のパルスイオンビ-ムの発生が可能な装置を共同利用したものである。
得られた結果を総括すると、大強度パルスイオンビ-ムを試料チタン板表面に照射に伴う、板表面の瞬間的温度上昇、溶融と急速冷却の痕跡が確認され、表面粗さ計による測定からも瞬間的溶融深さ、蒸発量が評価出来た。また、イオンビ-ムの照射条件その他から理論的に評価し得る表面温度の推定値とも整合する結果を得た。このことは、本方法を金属板表面に非晶質層を形成することへの応用の可能性と、非晶質層の定量的制御の可能性を示唆する結果であるとして評価した。
照射表層部のX線解析による応用の測定からも、照射試料の内部の測定位置によって圧縮性、引っ張り性の応用が残留することが確認され、照射表面の局所的溶融、蒸発等の熱的衝撃に起因する熱応力の生成を示唆する結果を得た。ESCAによる検討では、イオンエッチングを行なわない、試料の真の照射表層部でのみB、Nイオンのスペクトルを認めたが、エッチング深さの増大(0.1um以上)と共にB、Nイオンのスペクトルは消失し、イオンの注入効果について確実に把握することは出来なかったが、X線解析の結果からは、金属間化合物の生成を認めた。
アパタイト皮膜の生成についてもX線解析、ESCAによる分析から確認され、イオンエッチングの全ての段階でCa/Pのモル比がほぼ同一の1.6であり、また深さ方向で均質性の高い事を認めた。

  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] K.Yatsui,M.Masugata,T.Takaai et al: "Generation and Applecations of Intense Pulsed Ion Beams at Nagaoka." Proceeding of the 7th International Conference On High-Power Particle Beams,Karlsruhe,Germany,July4-8,1988.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Takaai,T.Hatsushika,K.Yatsui et al: "Surface Modification Experiment by Intense Pulsed Ion Beam" Proceeding of International Conference on Surface Engineering,Toronto,Canada,June 25-27,1990.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 初鹿敏秋、鈴木喬、鷹合徹也、八井浄ほか: "大強度パルスビ-ム法によるチタン上へのアパタイト皮膜の生成" 電気化学.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 本多、鷹合、八井ほか: "大強度パルスイオンビ-ムによるチタン照射実験" 第48回応用物理学会 学術講演会講演概要、第48回. (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 八井、鷹合、升方ほか: "大強度パルスイオンビ-ムによる材料開発" 日本学術振興会、荷電粒子ビ-ムの工業への応用第132委員会、第104回研究会資料.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 本多、鷹合、八井ほか: "大強度パルスイオンビ-ムによるチタン照射実験" 第49回応用物理学会 学術講演会講演概要、第49回. (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Yatsui,T.Takaai,M.Masugata et al: "Surface Modification Experiments by Intense Pulsed Ion Beam" 第20会(1989年)シンポジウム「イオン注入とサブミクロン加工」March 7. (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 初鹿、鈴木、鷹合、八井ほか: "大強度パルスイオンビ-ムによるアパタイト皮膜の生成" 電気化学協会 第56回大会 講演概要集. (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 河野、初鹿、鈴木、鷹合、八井ほか: "アパタイトコ-ディング皮膜の調整とその特性" 日本化学会、コロイド及び界面化学研究発表 講演概要集. (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K. Yatsui, M. Masugata T. Takaai et al: "Generation and Applications of Intense Pulsed Ion Beam at Nagaoka" Proceeding of the 7th International Conference on High - Power Particle Beams, Karlsruhe, West Germany, July 4 - 8, 1988.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] T. Takaai, T. Hatsushika, K. Yatsui et al: "Surface Modification Experiment by Intense Pulsed Ion Beam" Proceedings of International Conference on Surface Engineering, Toronto, Canada, June 25 - 27, 1990.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] T. Hatsushika, T. Suzuki, T. Takaai, K. Yatsui et al: "Formation of Apatite Coating on Titan by Intense-Pulsed Ion Beams" Journal of Electrochemistry, Japan.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] T. Honda, T. Takaai, K. Yatsui et al: "Ion Implantation Experiment of Titan by Intense Pulsed Ion Beam" Preprint of the 48th Meeting of Japan Society of Applied Physics, Tokyo, March, 1988.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] K. Yatsui, T. Takaai, M. Masugata et al: "Research and Development of Materials by Intense Pulsed Ion Beam" Reprint of the 104th Research Meeting of Nippon Gakujyutsu Shinkoukai, Tokyo, September 14, 1988.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] T. Honda, T. Takaai, K. Yatsui et al: "Ion Implantation Experiment by Intense Pulsed Ion Beam" Reprint of the 49th Meeting of Japan Society of Applied Physics, Toyama, October, 1988.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] K. Yatsui, T. Takaai, M. Masugata et al: "Surface Modification Experiments by Intense Pulsed Ion Beam" Proceeding for the 20th Riken Symposium of Ion Implantation and Sub-micron Working, Tokyo, March 7, 1989.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] T. Hatsushika, T. Suzuki, T. Takaai, K. Yatsui et al: "Formation of Apatite Coatings by Intense Pulsed Ion Beam" Reprint of the 56th Meeting of the Japan Society of Electrochemistry, Tokyo, April 4 - 7, 1989.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] K. Kouno, T. Hatsushika, T. Suzuki, T. Takaai et al: "Preparation of Apatite Coatings and Properties thereof" Reprint of the Meeting of Japan Chemical Society, Tokyo, October 15, 1989.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 1993-03-26  

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