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これまでの研究でロータリエンコーダの自動校正システムを開発し、このシステムの校正精度などについて調べてきた。本年度は、このシステムの基準スケールの高精度化を目的として、以下の測定と実験を行い、基準スケールの精度を±0.2^"程度とすることができた。
1.基準スケールのより正確な校正値の把握
この校正システムの基準スケールである6480P/Rの回転形磁気スケールに(a)マルチ再生ヘッド法、(b)平均法、(c)両角度検出器の同時校正法、(d)高精度ロータリエンコーダとの比較測定法を適用し、その校正値を比較した。その結果、自体検査法(a)、(b)、(c)の各校正法による校正値の差は約1″程度であった。これらの校正値と本年度購入した高精度ロータリエンコーダ(測定データが添付されており、精度±0.2″程度でよく一致していることが分かった。このことから平均法とこの比較測定法による校正値がより正確な校正値であると推定した。
2.基準スケールの高精度化
平均法によって求めた基準スケールの全点の校正値をもとに、これまでに開発した補正転写記録法を適用して、基準スケールの高精度化を図った。その結果、±0.2″程度の基準スケールを記録することができた。
3.基準スケールの経時変化
高精度に記録された基準スケールの誤差の経時変化を観察した。その結果、(イ)低次の誤差のフーリェ成分が±0.2″程度変動すること、(ロ)この変化は周囲温度に依存していることが分かった。このことから、温度を20±1℃に管理することによって基準スケールの誤差の変化を±0.1^"程度に抑えられることが分かった。
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