化合物半導体における格子欠陥の評価と制御

1988 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 63604002
• 研究機関: (財)電気磁気材料研究所
• 研究代表者: 増本 剛 財団法人電気磁気材料研究所, 研究部, 部長 (00181660)
• 研究分担者: 田口 常正 大阪大学, 工学部電気工学科, 講師 (90101279) ; 西野 種夫 神戸大学, 工学部・電気工学科, 教授 (60029452) ; 河東田 隆 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教授 (90013739)
• キーワード: II-VI族化合物半導体 / AgGaS_2 / MOCVD法 / ヘテロ接合 / フォトルミネッセンス / 励起子 / ドナー・アクセプター対発光 / 格子欠陥

研究概要

化合物半導体のエピタキシャル薄膜、薄膜-基板界面及びバルク単結晶における格子欠陥の評価と制御のために以下の研究を実施した。
1.MOCVD法によるII-VI族化合物半導体薄膜における格子欠陥の評価(田口、河東田担当)
田口はMOCVD法により作成したNa添加ZnS及びZnSe薄膜の低温フォトルミネッセンス(PL)規定によりNaの状態を検討した。その結果ZnSeにおいてはNaに束縛された励起子及びドナー・アクセプター対による発光を、またZnSにおいてはNaに束縛された励起子及び伝導帯-アクセプター間の遷移による発光を観測するとともに、これらの化合物におけるNaのイオン化エネルギーを求めた。河東田はMOCVD法によりII-VI族化合物半導体成長時のVI/II流量比と薄膜結晶の完全性との関連を明らかにし、また不純物による局在モード検討のため、ZnSe中の炭素原子につき理論計算及びラマンスペクトルによる実験を行った。
2.薄膜-基板界面における格子欠陥の評価(西野担当)
ZnSxSe_<1-x>/GaAsヘテロ接合界面の歪を新たに開発した高感度測定法により評価した。その結果界面には格子不整合に加え熱応力による歪が存在することを明らかにするとともに、ZnSxSe_<1-x>薄膜のPL測定から欠陥と接合界面における歪との相関を明らかにした。
3.AgGaS_2バルク単結晶における格子欠陥の評価と制御(増本担当)
ブリッジマン法及びよう素輸送法によって大型で高品質の単結晶作成に成功した。これらas-grown及び各種雰囲気処理試料に対するPL測定から、バンド端近傍のエネルギー領域に従来明瞭でなかった自由励起子、ドナー及びアクセプターに束縛された励起子並びにそれらの励起状態に対応する発光を見いだし、また起源不明ないくつかの発光ピークの中、硫黄及び銀空孔の格子欠陥に起因するものがあることを示唆した。

研究成果

• [文献書誌] K.Mochizuki.: Appl.Phys.Lett.
• [文献書誌] E.Niwa.: ICCG-9,J.Crystal Growth.
• [文献書誌] Y.Noda.: ICCG-9,J.Crystal Growth.
• [文献書誌] K.Yano.: Proceedings of the 5th Conf.on Semi-insulating III-V Materials,Malme,Sweden. 105-110 (1988)
• [文献書誌] Y.Tonami.: Jpn.J.Appl.Phys.27. L506-L508 (1988)
• [文献書誌] T.Nishino.: IEEE. QE25. (1989)
• [文献書誌] Y.Kawakami.: J.Crystal Growth. 89. 331-338 (1988)
• [文献書誌] M.Sekoguchi.: J.of Luminescence. 42/43. 838-839 (1988)
• [文献書誌] Y.Kawakami.: Applied Surface Science. 33/34. 1059-1065 (1988)
• [文献書誌] Y.Asao.: Mat.Res.Soc.Symp.Proc.102. 143-148 (1988)
• [文献書誌] Y.Kawakami.: Technology Report of the Osaka University. 38. 109-118 (1988)
• [文献書誌] M.Sekoguchi.: Jap.J.Appl.Lett.27. 699-701 (1988)
• [文献書誌] Y.Kawakami.: J.Crystal Growth. 93. 714-719 (1988)
• [文献書誌] T.Murase.: Technology Report of the Osaka University. 38. 297-304 (1988)
• [文献書誌] Y.Endoh.: Jap.J.Appl.Lett.27. L2199-2202 (1988)
• [文献書誌] Y.Yamada.: Proc.Int.Conf.on Shallow Impurities of Semiconductors,Inst.Conf.Ser.58. (1989)
• [文献書誌] Z.Kawazu.: Proc.Int.Conf.on Defects in Semiconductors. (1989)
• [文献書誌] Y.Kawakami.: Proc.Int.Conf.on Physics of Semiconductors. (1989)
• [文献書誌] K.Kurisu.: Proc.Int.Workshop on Electroluminescence. (1989)
• [文献書誌] T.Taguchi.: Proc.Int.Workshop on Electroluminescence. (1989)
• [文献書誌] Y.Yamada.: Jap.J.Appl.Phys.Lett.(1989)
• [文献書誌] Y.Kawakami.: J.Vac.Sci.and Technol.(1989)
• [文献書誌] 河東田隆: "レーザラマン分光法による半導体結晶の評価" 東京大学出版会, (1988)