| 研究課題/領域番号 |
63632003
|
|---|
| 研究機関 | 群馬大学 |
|---|
研究代表者 |
菅原 実 群馬大学, 工学部, 教授 (50008504)
|
|---|
| 研究分担者 |
石川 稜威男 山梨大学, 工学部, 助手 (00020446)
松沢 秀典 山梨大学, 工学部, 教授 (40006234)
菅ノ又 伸治 山梨大学, 工学部, 教授 (50020425)
岡田 富男 群馬大学, 工学部, 助手 (10111395)
小林 祥男 群馬工業高等専門学校, 助教授
|
|---|
| キーワード | 探針法 / 単探針 / 複探針 / シランプラズマの診断法 / 低周波放電 / モンテ・カルロシミュレーション / SF_6ガス放電 |
|---|
| 研究概要 |
平行平板電極間に発生する要量性rf放電の診断を行うに先だち、主として次の2テーマについて研究を行なった。
1.反応性ガス中における探針法
SiH_4ガス放電中の探針表面上に膜堆積が発生しない様に、外部加熱型の探針法を考案し、その基礎特性について検討を行なった。
線状探針に加熱電流を流して探針表面を約1000℃に加熱した。この温度では、膜堆積が生じないこと、また一旦成長した膜も剥離することをSEM写真を用いて確認した。同時に、堆積前の探針を用いて測定した探針特性と、一旦膜堆積させ、その膜を剥離した探針を用いた特性と比較して、清浄な表面が回復した事も確認した。赤外放出温度計を用いて探針加熱電流遮断後の探針表面温度の降下特性を測定した。探針直径0.1mmの場合で、約一秒以内に室温にまで降下することが得られた。引き続き、SF_6ガス放電中でPtフォイルを用いて研究を行い、約1000℃に加熱することにより清浄な探針表面が維持できた。
2.SF_6ガスrf放電の光学的診断
低気圧SF_6ガスの低周波放電では、主放電電流が流れる少し前にパルス状の電流が発生する事を見出し、これは、脱離電子により発生した電子増殖による電子雪崩であると推測された。この推論はモンテ・カルロシミュレーションにより確認された。
発光強度の時間空間分布についても測定した。気圧0.2Torr以上では放電開始直後、陽極全面で強い発光が生じるが、この時刻は上記パルス電流発生の位相と一致する。その後、電圧の増加に伴い最大発光の位置は陰極側に移動し、遂に負グローを形成することになる。このような時間的振舞いは、周波数100KHz程度までは同じであった。
|
