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1990 年度 実績報告書

半導体レ-ザ光の第2高調波発生を目的とする導波路形有機非線形光学素子の開発

研究課題

研究課題/領域番号 63850012
研究機関東京大学

研究代表者

伊藤 良一  東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (40133102)

研究分担者 永井 愛作  呉羽化学工業(株), 開発研究本部, 研究リーダー
佐久田 昌明  沖電気工業(株), 半導体技術研究所, 所長
小笠原 長篤  電気通信大学, 電気通信学部, 助教授 (90134486)
梅垣 真祐  東京工科大学, 工学部, 教授 (70011161)
キーワード有機結晶 / 非線形光学 / 波長変換 / 第2高調波発生 / 半導体レ-ザ / 導波路 / 微細加工
研究概要

有機非線形光導波路を用いた半導体レ-ザ光の高効率波長変換素子の実現を目指して、本年度は以下の項目について検討を加えた。
(1)有機非線形光学結晶の微細加工
一般に融点が低く、大半の有機溶剤に易溶であるという特徴を有する有機結晶の適用可能な微細加工技術の開発に成功した。レジスト材料としては、水溶性無機レジストHPAを採用し、高温プロセスを用いること無く、有機結晶に損傷を与えずに塗布・露光・現像が可能であることを見いだした。さらに、ウェットエッチング、酸素ガスを用いた反応イオンエッチングによって比較的良好なエッチングを行えることを示した。以上のプロセスは多くの有機結晶のそのまま適用可能であると考えられる。
(2)チェレンコフ放射方式光第2高調波発生の理論解析
導波路理論をチェレンコフ放射方式第2高調波発生に適用し、スラブ導波路について解析的な表式を与えることに成功した。それによって、波長変換効率の導波路パラメ-タ(導波路サイズ、基板・材料の屈折率)依存性を詳細に調べた。その結果、特定の材料に対する導波路パラメ-タの最適化が可能になったばかりでなく、高効率波長変換に最適な材料の設計へのフィ-ドバックも行えるようになった。
(3)有機非線形チャンネル導波路による半導体レ-ザ光の波長変換
実際に作製したチャンネル型導波路を用いて、半導体レ-ザ光(波長870nm)の第2高調波発生を実現した。変換効率は高くはないが、上記の理論解析の結果と合わせて高効率化への指針は十分に明らかにできたものと考える。

  • 研究成果

    (7件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (7件)

  • [文献書誌] R.Ito: "SecondーHarmonic Generation Using Organic Waveguides and Laser Diodes" Laser Spoctroscopy and Nonlinear Optics of Solids. 231-247 (1990)

  • [文献書誌] R.Morita,N.Ogasawara,S.Umegak and R.Ito: "Theoretical Study of Optical SecondーHarmonic Generation from a Nonlinear Medium of Finite CrossーSection" Digest of Nonlinear Optics:Materials,Phenomera and Devices. 105-106 (1990)

  • [文献書誌] T.Kondo,N.Hashizume,S.Miyoshi,R.Morita,N.Ogasawara,S.Umegaki and R.Ito: "SecondーHarmonic Generation with Laser Diodes and Organic Channel Waveguides" Digest of Nonlirear Optics:Materials,Pheromena and Devices. 198-199 (1990)

  • [文献書誌] T.Kondo,N.Hashizume,S.Miyoshi,R.Morita,N.Ogasawara,S.Umegaki and R.Ito: "Freguency Doubling of Laser Diode Light in Organic Channel Waveguides" Proc.SPIE,Nonlinear Optical Properties of Organic Materials III. 1337. 53-59 (1990)

  • [文献書誌] T.Kondo and R.Ito: "Optical SecondーHarmonic Generation in OrganicーCrystalline Channel Waveguides" Micro Optics News. 9(1). 91-96 (1991)

  • [文献書誌] K.Chikuma and S.Umegaki: "Characteristics of Optical SecondーHarmonic Generation due to C^^verenkorーRadiationーType Phase Matching" J.Opt.Soc.Am. B7. 768-775 (1990)

  • [文献書誌] 梅垣 真祐: "有機非線形光学材料" ぶんしん出版, 174 (1990)

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公開日: 1993-08-11   更新日: 2016-04-21  

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