| 研究課題/領域番号 |
63850028
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
鎌田 治 東北大学, 工学部, 教授 (00006131)
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| 研究分担者 |
佐藤 栄一 オリンハ゜ス光学工業, 課長
田牧 純一 東北大学, 工学部, 助教授 (30005516)
清野 慧 東北大学, 工学部, 助教授 (40005468)
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| キーワード | 鏡面 / 精密測定 / 走査基準 / 迅速測定 / オンマシン測定 / レーザオートコリメーション / 差動測定 |
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| 研究概要 |
今年度はまず、目的のプローブの試作を行なった。そして平面あるいは平面からあまり離れていない各種曲面をもつ鏡面が測定可能な、平面走査型のステージを持ったレーザオートコリメーション測定システムを構成した。試作プローブは2つの半導体レーザ光源からの平行光を走査方向に並べて、試料面に投射し、その反射光の傾きの差を一つのPSDで検出する方式を採った。その短時間の安定性から評価して0.2秒程度という当初の目的に十分かなう精度が得られた。3次元の形状測定をするためには、曲線相互の高さをY方向に2列と、曲線相互の傾斜を1列だけ測定する必要がある。試作システムでは、試料を90度回転することと、一方の光源を消灯した状態で傾斜角を測定する方法を採った。
現状でも、平面の測定に対しては、0.5μmの上下動と10秒以上のピッチング変動および振幅1μm程度の振動を伴う高速駆動の汎用のXYステージによる試料の走査でも、0.05μm以下の繰返し精度で形状が測定できることが確認できた。これより、最終目標とするオンマシン測定の見通しも得られた。
しかし、試作システムで測定できる曲線の傾斜角度の変化範囲は1度程度であり、多様な曲面形状を測定することはできない。角度変化範囲の大きい曲面も測定できるように、今後は回転走査ステージを追加する予定である。
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