| 研究課題/領域番号 |
63850028
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
鎌田 治 東北大学, 工学部, 教授 (00006131)
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| 研究分担者 |
佐藤 栄一 オリンパス光学, 研究開発部, 課長
清野 慧 東北大学, 工学部, 助教授 (40005468)
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| キーワード | 半導体レ-ザ / 半導体位置検出素子 / オ-トコリメ-ション / 鏡面形状 / 走査型測定 / 差動測定 / オンマシン測定 |
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| 研究概要 |
本年度は、昨年度の結果を踏まえ、形状の3次元表示の方法を検討するとともに、平面鏡以外の形状の測定をするための工夫、迅速測定を一層効果的にするための工夫を加えた。断面曲線以外の形状の測定には、試料をXYステ-ジに置いたまま、90度回転する装置を追加した。迅速化を高めるためには、測定システムにXYステ-ジのエンコ-ダ信号を取込、ステ-ジの連続移動中に、タイミングを合せて高速サンプリングをすることである。これによって、昨年度との比較で、約6倍の高速化が達成された。20mmの距離を0.25mm間隔で測定して約4秒の時間を要する。これ以上の高速送りをすると、テ-ブルの位置決めの再現性が悪くなり、測定結果の再現性にも影響を及ぼすことが判った。
また、断面曲線群の相対的な高さと相対的傾斜を測定することにより、形状の3次元表示をする手法を示した。これにより、平面鏡、凸面鏡、放物面鏡などの、多様な形状の測定とその3次元表示が出来るシステムを示すことが出来た。プロ-ブの問題点としては、半導体レ-ザの平行ビ-ムがPSD上で少し広がってしまい受光面の外にはみ出すという現象が生じた。このため、差動角一定の状態でも、絶対角度が変化すると出力に変動が生じてしまい、大きい角度変化のある形状の測定が出来なかった。この問題の処理に手間取り、円筒鏡など、平面と大きく隔たった形状への本プロ-ブの適用の実験が出来なかった。現在、幅の広い一次元PSDの利用によって、この欠点を改善する見通しを得ている。
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