| 研究課題/領域番号 |
63850151
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| 研究種目 |
試験研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
金属材料
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
本間 禎一 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (20013112)
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| 研究分担者 |
木原 諄二 東京大学, 工学部, 教授 (00010801)
小林 正典 高エネルギー物理学研究所, 教授 (80011112)
岡野 達雄 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (60011219)
藤田 大介 東京大学, 生産技術研究所, 助手 (00190041)
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| 研究期間 (年度) |
1988 – 1989
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| キーワード | 極高真空 / 気体放出 / 昇温脱離 / 吸着脱離 / 表面改質 / ステンレス鋼 / 表面処理 |
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| 研究概要 |
極高真空発生のための技術開発の基礎研究として進められた。到達真空度はポンプの性能と材料のガス放出によって決まるが、本研究ではポンプの具体的内容には言及せず、ポンプ構成材を含めた材料のガス放出の機構・評価・制御について扱っている。特にガス放出の定量とメカニズムの解明のために2種類の手法(昇温脱離TDS法とスル-プット法)を用い、またガス放出低減化のための手法も検討して以下の成果を得た。
1.ガス放出機構を調べるためのTDS法の手法・装置試作・開発
ガス放出機構を基礎的に調べる目的でTDS法を採用した。放出機構評価のためのパラメ-タ-である吸着分子の脱離の活性化エネルギ-、脱離の反応機構、拡散放出の場合の拡散係数などの信頼できる情報を得るために歪のないスペクトルを測定する最適条件、加熱方式を検討した。この考察に基づき、更に表面評価機能(低速電子線回折/オ-ジエ電子分光・光学系)を加えたTDS測定装置を試作した。
2.ガス放出量評価のためのスル-プット法測定装置試作と測定
スル-プット法に基づくガス放出速度測定装置を試作し、それを用いて各種表面処理(電解複合研磨、バフ研磨、TiN被覆)を施したステンレス剛製真空容器から放出されるガス放出速度を測定した。表面平滑化効果とそのベ-キング後の消失、電解複合研磨処理試料の大気暴露後の分圧(H_2O、H_2、CO、CO_2)測定による新しい知見、温度変動に追随する脱離挙動などの機構解明にもつながる情報・知見が得られた。
3.表面改質
ガス放出特性を向上させるための表面及び表層の改質方法について考察し、表面析出法(BNおよびグラファイト状炭素)によって低ガス放出材料が得られる可能性があることを示した。
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