| 研究課題/領域番号 |
63850153
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
柴田 俊夫 大阪大学, 工学部, 教授 (90001205)
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| 研究分担者 |
金井 元 エヌエフ回路ブロック, 常務取締役
高村 久雄 日新製鋼, 市川研究所, 副所長
藤本 慎司 大阪大学, 工学部, 助手 (70199371)
谷口 滋次 大阪大学, 工学部, 助教授 (50029196)
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| キーワード | 走査界面インピーダンス測定 / 微小インピーダンスプローブ / 耐食性皮膜 / 欠陥評価 |
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| 研究概要 |
昭和63年度においては、走査界面インピーダンス測定装置の主要部分を試作した。すなわち本装置は、微小インピーダンスプローブとそれを移動させるXーYーZステージ、およびインピーダンス測定を行うための周波数解析装置(あるいはロックインアンプ)と定電位装置、さらにこれらを操作あるいはデータ採取・記録・表示を行うためのパーソナルコンピュータからなるが、本年度においてはパーソナルコンピュータ以外の装置と部品を購入し、主要部分を完成させた。
本装置の開発上の最大の課題は、微小インピーダンスプローブの設計試作および測定法の開発にある。測定法については、通常の電気化学インピーダンス測定で行われている微小電圧入力に対する電流出力の周波数応答を解析する手法を用いずに、測定が容易な微小電流入力に対する電圧出力を解析する手法について検討している。微小インピーダンス電極としては、種々の構造・形状のものを試作したが、比較的特性の良好であったものは、ガラス製のキャピラリ内に対極を設け、プローブ先端のキャピラリから電流出力させ、そのキャピラリ先端部に同時に電圧検出電極を設けたプローブである。現在このプローブについて、分解能に及ぼす周波数、プローブ形状、プローブと試料表面間距離、電圧検出電極位置等について検討を加えている。また来年度購入予定のパーソナルコンピュータによる本装置の操作とデータ採取・記録のためのプログラムを開発中である。
CVD法やゾル-ゲル法によるアルミナやシリカ皮膜等の高耐食性皮膜生成法について検討を加えているが、来年度はこれらの皮膜ならびに市販の高耐食有機塗膜の耐食性劣化や欠陥検出に本手法を応用する予定である。
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