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1991 年度 研究成果報告書概要

プラズマCVDによる炭酸ガスレ-ザ用レンズ薄膜の製作と性能評価に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 63890015
研究種目

試験研究

配分区分補助金
研究分野 広領域
研究機関高松工業高等専門学校

研究代表者

中村 茂昭  高松工業高等専門学校, 一般科目, 教授 (00044024)

研究分担者 草薙 一正  トーヨーオプトデバイス(株), 開発室長
平野 俊雄  高松工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (60044038)
山本 斌曠  高松工業高等専門学校, 一般科目, 教授 (70044021)
吹田 義一  高松工業高等専門学校, 機械工学科, 助教授 (20044050)
吉岡 捷爾  高松工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (20110132)
研究期間 (年度) 1988 – 1990
キーワード炭酸ガスレ-ザ用レンズ / 塩化カリウム単結晶 / 硫化ヒ素膜 / フッ化リチウム膜 / フッ化鉛膜 / 木材加工
研究概要

1.KClとNaCl単結晶作製 自動単結晶引上げ装置TKーP1を本研究で製作し、KCl単結晶80φ×70mmを作製した。温度コントロ-ラ-のプログラムは次の通りである。NaCl単結晶も製作した。
Step No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
温度℃ 40 840 840 840 804 783 777 777 500 500
時間hr 12 3.0 2.0 0.1 1.3 1.5 4 0.1 1.0 24
2.KCl及びNaCl単結晶レンズ製作 手動によってKCl単結晶を砂掛け皿、ピッチ皿等で研磨(研磨剤:水、流動パラフイン、アルコ-ル、カ-ボランダム#500、800、1200、及びアルミナ0.05μ)し、曲率半径44と55mmのKClレンズ(焦点距離53と60mm、直径60と70mm、厚さ28と32mm)を製作した。同様な方法でNaClレンズも作製した。
3、薄膜コ-ディング 薄膜製作法は膜厚や組成制御の点でプラズマCVDよりもPVDが良好であることが分かった。NaClやKClレンズに透過性、耐潮解性、耐破壊性を持たせるために、次のような膜を単結晶レンズ表面に付着させ、その赤外線10.6μでの透過率を測定した。
理論値(%) 測定値(%)
NaCl//As_2S_3(4.72μ)/PbF_2(1.54μ) 91.7 91.6
KCl//LiF (2.41μ) 99.0 94.0
4.上述のKClレンズをCO_2レ-ザ装置(17.5W、アシストガスN_22kg/cm^2、テ-ブル速度300mm/s)に設定し木材メラピ-や塩ビ板等に高速で0.8〜1.0mmの穴を開けることができ、セレン化亜鉛レンズに代る実用性を持つことが分かった。

  • 研究成果

    (28件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (28件)

  • [文献書誌] SHigeaki Nakamura: "Plasma-assisted deposition Of ARESENIC Sulfide Film By Coevaporation Of ARESENIC AND Hydrogen Sulfide" CHemistry Express. 3. 451-454 (1988)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 吉岡 捷爾: "プラズマCVDによるGeーSe薄膜の形成" 講演論文集電気関係学会四国支部連合大会. 21. 255-256 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 須崎 嘉文: "赤外線反射防止膜の設計と制作" 材料科学と高機能化技術ハイテクシンポジウム'88タカマツ,. 2. 29-38 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 吹田 義一: "蒸着薄膜および電着メッキ層の残留応力解析" 溶接学会論文集. 7. 543-548 (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 中村 茂昭: "CVDによる窒化チタン薄膜の製作に関する研究" 創 KAGAWAーTECHNO. 13. 22-36 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Mechanical And Optical Properties Of Tin CVD-Film On Ceramic" Chemistry Express. 5. 309-312 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 吉岡 捷爾: "高真空蒸着によるGe_<1ーx>Se_X薄膜の形成と電気的光学的特性" 高松工業高等専門学校研究紀要. 25. 65-70 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 須崎 嘉文: "アモルファスSiC薄膜の作製とその構造評価" 高松工業高等専門学校研究紀要. 25. 5-12 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 須崎 嘉文: "薄膜の引掻き試験と付着強度試験" 溶接学会溶接構造研究委員会第94回委員会. 7. 1-5 (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Yoshikazu Suita: "Analvsis Of Residual Stresscs In Evaporated And Plating Films" Transaction Of The Japan Weldeing Society. 22. 16-22 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Preparetion And Properties Of Ge_<1-X>Se_XFilms" The Colloquium At Material Science And Engineering Department Of Stanford University. 24. (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 中村 茂昭: "炭酸ガスレ-ザ切断" 平成2年度産学官交流会香川県テクノポリス推進協議会. (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 中村 茂昭: "複合材料の境界面について" 複合材料の再利用システム技術第4回研究会通産省四国工業技術試験所. (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Yoshihiro Yamamoto: "Transition Processes Of Metastable Mercury Atom(6^3 P_2)in The Afterglow" Progress Report,Atomic Coliision Research In Japan. 16. 92-93 (1990)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Plasma-assisted Deposition of Arsenic Sulfide Film by Coevaporation of Arsenic and Hydrogen Sulfide" Chemistry Express. 3. 451-454 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Preparation of Ge-Se Thin Film by Plasma-assisted CVD" The REport of Shikoku Electrical Society. 21. 255-256 (1988)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Yoshifumi Suzaki: "Design and Fabrication of Antireflection Coatings for Infra-red" High Technological Symposium 88 Takamatsu. 2. 29-38 (1988)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Yoshikazu Suita: "Residual Stresses of Thin Films" The Report of japanese Welding Society. 7. 543-548 (1988)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Fabrication of TiN Film by CVD" KAGAWA-TECHNO. 13. 22-36 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Mechanical and Optical Properties of Thin CVD-Film on Ceramics" Chemistry Express. 5. 309-312 (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Electrical and Optical Properties of Ge1-xSex Thin Films prepared by Vacuum Evaporation" Annual Reports of Takamatsu National College of Technology. 25. 65-70 (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Yoshifumi Suzaki: "Preparation and Structure Properties of Amorphous SiC Thin Film, Annual Reports of Takamatsu National College of Technology" 25. 5-12 (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Yoshifumi Suzaki: "Scratch Test and Adhesive Strength of Thin Film" The 94th Conference on Japanese Welding Society. 7. 1-5 (1989)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Yoshifumi Suzaki: "Analysis of Residual Stresses in Evaporated and Planting Films" Transaction of The Japanese Welding Society. 22. 16-22 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Shoji Yoshioka: "Preparation and Properties of Ge1-xSex Films" The Colloquium at Material Science and Engineering Department of Stanford University. 24. (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "CO2 Raser Cutting" The Report of Conference between Industrial Academic Society at Kagawa. (1991)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Shigeaki Nakamura: "Interfaces in Composite Materials" The 4th Conference of Material Recycle System at Government Industrial Research Institute, Shikoku. (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Yoshihiro Yamamoto: "Transition Process of Metastable Mercury Atom (6^3 P_2) in The Afterglow" Progress Report, Atomic Collision Research in Japan. 16. 92-93 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 1993-03-16  

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