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2016 年度 実績報告書

高性能ガスセンサー実現のための活性表面の作製と評価

公募研究

研究領域3D活性サイト科学
研究課題/領域番号 15H01053
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

鈴木 拓  国立研究開発法人物質・材料研究機構, セラミックス表面・界面グループ, 主席研究員 (60354354)

研究期間 (年度) 2015-04-01 – 2017-03-31
キーワードガスセンサ / 光電子解説 / 光電子ホログラフィー / 酸化亜鉛 / イオン散乱分光
研究実績の概要

ガスセンサは工業原料や排気ガスに含まれるガスの検知に広く用いられており、近年では、環境エネルギー分野での高性能ガスセンサの重要性が増している。半導体型のガスセンサでのドーピングによるセンサ特性の向上は、センシング材料表面に特有の活性サイトが出現することで、この電気抵抗変化が大きくなる(又は、小さくなる)結果である。したがって、センシング材料の開発においては、そのような活性サイトを有する表面(ここでは活性表面と呼ぶ)の原子配列を同定することは極めて重要である。
代表研究者らはこれまでに、ドーピングと表面偏析の組み合わせを新たな活性表面の構築法として着目し、その原子配列に関して低速イオン散乱分光(LEIS)を用いて解析してきた。その結果、タングステンドープ酸化亜鉛(W-ZnO)表面が優れたガスセンシング特性を有することが見出された。そこでWドーピングの役割を解明するために、Wドーパントの局所構造を同定することを目的とした二次元光電子分光実験を行い、W-ZnO最表面が酸素面で終端していることや、表面に偏析したWが第二層目のZn置換サイトに位置していることを明らかにしてきた。光電子回折により同定されたこのW-ZnO表面構造モデルは、LEISから別途同定されたモデルと一致する。この結果を踏まえ平成28年度は、二次元光電子分光によるガス吸着構造解析への展開を見据え、インハウス実験によるガス吸着構造解析に関する予備検討と、ZnO各結晶面のガスセンサ特性に関する検討を進めた。その結果、飛行時間型2次イオン質量分析/LEIS/昇温脱離分析の融合装置を新たに開発し、その運用を開始した。また成長方位を制御したZnO薄膜の合成に成功し、表面原子配列とガスセンサ特性との関係に関する知見を得た。

現在までの達成度 (段落)

28年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

28年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (24件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (13件) (うち国際共著 1件、 査読あり 13件、 謝辞記載あり 6件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] 偏極4He+イオンビームによるスピン依存イオン散乱とその応用2017

    • 著者名/発表者名
      鈴木拓、酒井治
    • 雑誌名

      表面科学

      巻: 38 ページ: 164,169

    • DOI

      in press

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effects of the Electronic Spin-Orbit Interaction on the Anomalous Asymmetric Scattering of the Spin-Polarized 4He+ Beam with Paramagnetic Target Materials2017

    • 著者名/発表者名
      O. Sakai, T.T. Suzuki
    • 雑誌名

      Journal of Physical Society of Japan

      巻: 印刷中 ページ: 印刷中

    • DOI

      in press

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Spin-orbit coupling and surface magnetism coexisting in spin dependent low-energy He+ ion scattering2017

    • 著者名/発表者名
      T.T. Suzuki, O. Sakai
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 95 ページ: 155437-1,6

    • DOI

      in press

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Gas sensing properties of c-axis-oriented Al-incorporated ZnO films epitaxially grown on (1120) sapphire substrates using pulsed laser deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Adachi, K. Watanabe, N. Saito, I. Sakaguchi, T. Suzuki
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 124 ページ: 668,672

    • DOI

      10.2109/jcersj2.15319

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Selective concentration of ultra-trace acetone in the air by cryogenic temperature programmed desorption (cryo-TPD)2016

    • 著者名/発表者名
      T. Suzuki, I. Sakaguchi
    • 雑誌名

      Analytical Sciences

      巻: 32 ページ: 937,941

    • DOI

      10.2116/analsci.32.937

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Evaluation of sensor property for hydrogen and ethanol of zinc-doped tin-dioxide thin films fabricated by rf sputtering2016

    • 著者名/発表者名
      I. Sakaguchi, N. Saito, K. Watanabe, Y. Adachi, T. Suzuki
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 124 ページ: 714,716

    • DOI

      10.2109/jcersj2.16015

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Quantitative analysis of helium by post-ionization method using femtosecond laser technique2016

    • 著者名/発表者名
      H. Yurimoto, K. Bajo, I. Sakaguchi, T. Suzuki, J.G. A.J.G. Jurewicz, S. Itose, K. Uchinof, M. Ishihara
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: 48 ページ: 1181,1184

    • DOI

      10.1002/sia.6119

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Floating zone growth and magnetic properties of Y2C two-dimensional electride2016

    • 著者名/発表者名
      S. Otani, K. Hirata, Y. Adachi, N. Ohashi
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 454 ページ: 15,18

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2016.08.048

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quantitative secondary ion mass spectrometric analysis of secondary ion polarity in GaN films implanted with oxygen2016

    • 著者名/発表者名
      M. Hashiguchi, I. Sakaguchi, Y. Adachi, N. Ohashi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 ページ: 101001-1,-6

    • DOI

      10.7567/JJAP.55.101001

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influences of high deposition rate on LiCoO2 epitaxial films prepared by pulsed laser deposition2016

    • 著者名/発表者名
      K. Nishio, T. Ohnishi, M. Osada, N. Ohta, K. Watanabe, K. Takada
    • 雑誌名

      Solid State Ionics

      巻: 285 ページ: 91,95

    • DOI

      10.1016/j.ssi.2015.06.006

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrochemical performance of an all-solid-state lithium; oxygen battery under humidified oxygen2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Suzuki, K. Watanabe, T. Shoma, N. Imanishi
    • 雑誌名

      Solid State Ionics

      巻: 289 ページ: 72,76

    • DOI

      10.1016/j.ssi.2016.03.003

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Isotope tracer investigation and ab-initio simulation of anisotropic hydrogen transport and possible multi-hydrogen centers in tin dioxide2016

    • 著者名/発表者名
      K. Watanabe, I. Sakaguchi, M. Hashiguchi, N. Saito, E. Ross, H. Haneda, T. Ohsawa, N. Ohashi
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 119 ページ: 225704-1,-10

    • DOI

      10.1063/1.4953387

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Orientation alignment of epitaxial LiCoO2 thin films on vicinal SrTiO3 (100) substrates2016

    • 著者名/発表者名
      K. Nishio, T. Ohnishi, K. Mitsuishi, N. Ohta, K. Watanabe, K. Takada
    • 雑誌名

      Journal of Power Sources

      巻: 325 ページ: 306,310

    • DOI

      10.1016/j.jpowsour.2016.06.015

    • 査読あり
  • [学会発表] Surface magnetism vs. spin-orbit coupling in low-energy He+ ion scattering2016

    • 著者名/発表者名
      鈴木拓、酒井治
    • 学会等名
      イオンビーム特別研究会
    • 発表場所
      京都府立大学
    • 年月日
      2016-12-03 – 2016-12-04
  • [学会発表] Origin of the Anomalous Asymmetric Scattering of the Spin-Polarized 4He+ Beam with Paramagnetic Target Materials2016

    • 著者名/発表者名
      酒井治、鈴木拓
    • 学会等名
      イオンビーム特別研究会
    • 発表場所
      京都府立大学
    • 年月日
      2016-12-03 – 2016-12-04
  • [学会発表] Gas sensing properties of epitaxial ZnO films2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Adachi, I. Sakaguchi, T. Suzuki, N. Saito
    • 学会等名
      9th International Workshop on ZnO and Related Materials
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2016-10-30 – 2016-11-02
    • 国際学会
  • [学会発表] タングステン添加酸化亜鉛薄膜の水素とエタノールガスのセンサ特性2016

    • 著者名/発表者名
      坂口勲, 齋藤紀子, 安達裕, 渡邉賢, 鈴木拓
    • 学会等名
      第36回エレクトロセラミックス研究討論会
    • 発表場所
      富士通労働会館
    • 年月日
      2016-10-13 – 2016-10-14
  • [学会発表] 酸化亜鉛薄膜ガスセンサ特性の結晶面依存性2016

    • 著者名/発表者名
      安達裕, 坂口勲, 齋藤紀子, 鈴木拓
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟)
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] スピン偏極He+ビーム散乱における異常なスピン軌道相互作用の起源VI2016

    • 著者名/発表者名
      酒井治、鈴木拓
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [学会発表] 高性能ガスセンサー実現のための活性表面の作製と評価2016

    • 著者名/発表者名
      鈴木拓, 安達裕, 渡邉賢
    • 学会等名
      3D活性サイト科学 第四回成果発表会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2016-09-10 – 2016-09-11
  • [学会発表] ISSおよびUPSによるSrTiO<sub>3</sub>(110)表面上へのNOx吸着2016

    • 著者名/発表者名
      藤本憲次郎, 石塚 雄斗, 山口 祐貴, 相見 晃久, 坂口勲, 鈴木拓
    • 学会等名
      日本セラミックス協会-第29回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2016-09-07 – 2016-09-09
  • [学会発表] 不純物添加がZnO薄膜のガスセンシング特性に及ぼす影響2016

    • 著者名/発表者名
      安達裕, 坂口勲, 齋藤紀子, 鈴木拓
    • 学会等名
      日本セラミックス協会-第29回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2016-09-07 – 2016-09-09
  • [学会発表] Atomic structure analysis of W-doped ZnO thin film (000-1) by photoelectron diffraction2016

    • 著者名/発表者名
      S. Fukami, Y. Adachi, I. Sakaguchi, K. Watanabe, T. Muro, T. Matsushita, M. Taguchi, F. Matsui, H. Daimon, T. Suzuki
    • 学会等名
      VUVX2016
    • 発表場所
      スイス
    • 年月日
      2016-07-03 – 2016-07-08
  • [学会発表] Temperature Dependence of Atomic Structure Around Doped W atom in ZnO thin film studied by photoelectron diffraction2016

    • 著者名/発表者名
      S. Fukami, Y. Adachi, I. Sakaguchi, K. Watanabe, K. Muro, T. Matsushita, M. Taguchi, F. Matsui, H. Daimon, T. Suzuki
    • 学会等名
      Local 3D atomic and electronic structure imaging of functionally
    • 発表場所
      スイス
    • 年月日
      2016-07-01 – 2016-07-01

URL: 

公開日: 2018-01-16  

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