|
金属表面で誘起される局在表面プラズモン共鳴の増強電場を利用することによって、レジストをナノサイズでパターニングできることが報告されている。本研究では、加工性の乏しいセラミックスやガラスへこれらの技術を利用し、簡便なナノ加工方法の確立を進めている。また、加工技術を利用してナノデバイスへの応用を目指している。まずは、レジストの場合と同様にプラズモンを利用したナノ加工が可能かどうかについて調べた。さらに、プラズモンの干渉を用いると光の回折限界を超える加工も可能であることが期待されることから、その方法に関しての検討を行った。昨年度までに金のブロック間の数nmのギャップを用いて有機-無機ハイブリッド材料がその大きさに加工可能であることを示してきた。今年度は、より簡便に加工できる技術を目指し、金属表面に誘起されるプラズモンの干渉を利用することによってナノ加工を試みた。
干渉リソグラフィによるナノパターンとして、FDTD計算を用いて、アルミが有用であることを調査し、干渉が生じるようなライン&スペースパターンを電子線描画によって作製した。ゾル-ゲル法によって作製した光感応性を有する有機-無機ハイブリッド材料に密着させた後、UV光を露光した。露光後、アルコールによって現像を行った。ほとんどはスリット部で増強された光によって反応しており、アルミパターンと同様の600nm程度の周期性を有するパターンとなった。しかしながら、露光時間を最適化することによって光の波長と同程度の細かいパターンを得ることに成功した。このパターンを焼結することによってアナターゼのナノパターンを簡便に作製できることが明らかになった。
|
