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2012 年度 実績報告書

微粒子プラズマナノ界面における化学反応の解析と浮遊型熱センサの開発

公募研究

研究領域プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成
研究課題/領域番号 24110710
研究機関京都工芸繊維大学

研究代表者

高橋 和生  京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 准教授 (50335189)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2014-03-31
キーワードナノ界面プラズマ / 微粒子プラズマ / プラズマ / 温度計測 / プラズマプロセス
研究実績の概要

現在、カーボンナノチューブやナノダイヤモンドに代表されるナノカーボンが科学分野並びに産業分野において注目されている。数あるナノカーボンの製造法の中でもっとも期待されているものが低温でこの物質を形成できるプラズマを用いた手法である。特に、プラズマにおいては、気相においてナノカーボンが大量に発生することが知られており(微粒子プラズマ)、プラズマとナノ物質との界面における化学反応を明らかにすることによって、ナノカーボン作製プロセスの著しい向上に期待できる。また、プラズマ気相において、結晶生成物(ナノダイヤモンド)が形成されることが確認されている。通常高温環境が必要とされる物質が形成されることについては、プラズマが電子及びイオンの温度について非平衡であることが関係すると考えられる。本研究では、プラズマ中の微結晶ナノカーボン(微粒子)の形成機構を解析するために、熱的非平衡環境であるプラズマとナノカーボンとの界面における熱ダイナミクス(微粒子の表面温度と運動エネルギーとの関係)を明らかにすることを目的とする。
平成22-23年度の研究で、プラズマ中の微粒子の表面温度を測定した。0.4 Wの電力を印加して発生させたプラズマにおいて、微粒子は室温から即座に348 Kまで加熱されることがわかった。この結果を定量的に解析するために、平成24年度にはプラズマのイオン密度と電子温度をダブルプローブ法により測定した。得られたイオン密度と電子温度はそれぞれ、5X10^8 cm^-3、5.4 eVであり、モデル計算によりこれらの値から推定される微粒子の温度は328 Kであった。実測値との誤差は、中性ガスの温度の推定値によるものと考えられる。誤差がそれほど大きくないことから、プラズマ中の微粒子表面における加熱機構は現在仮定するモデルに従うとしてよい。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

3: やや遅れている

理由

微粒子の温度の定量的な解析のためにプラズマ計測を行った。それに多くの労力を費やしたため、微粒子の加熱へのラジカルの効果を検証することが十分にできなかった。

今後の研究の推進方策

微粒子の加熱機構の検証のためには、プラズマ計測を丁寧に行うことは必要である。緻密な計測結果をもとにモデル計算を重ね、今後も機構の解明を進める。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2013 2012

すべて 学会発表 (7件) (うち招待講演 1件)

  • [学会発表] 微粒子プラズマにおけるダブルプローブを用いたイオン密度と電子温度の測定2013

    • 著者名/発表者名
      高橋和生
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-29
  • [学会発表] 微粒子プラズマにおける微粒子表面とガス分子の温度の測定2013

    • 著者名/発表者名
      高橋和生
    • 学会等名
      第30回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      浜松
    • 年月日
      2013-01-22
  • [学会発表] Measurements with Probes in Dusty (Fine Particle or Dusty) Plasmas for Ideas of a New Apparatus on KIBO2012

    • 著者名/発表者名
      高橋和生
    • 学会等名
      13th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 発表場所
      核融合科学研究所
    • 年月日
      2012-12-07
    • 招待講演
  • [学会発表] 大気球を利用した微粒子プラズマ実験構想2012

    • 著者名/発表者名
      高橋和生, 東辻浩夫, 足立聡
    • 学会等名
      大気球シンポジウム
    • 発表場所
      宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所相模原キャンパス
    • 年月日
      2012-10-17
  • [学会発表] Ion impact heating on surface of dust particles in plasmas2012

    • 著者名/発表者名
      高橋和生
    • 学会等名
      11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 25th Symposium on Plasma Science for Materials
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2012-10-02
  • [学会発表] 微粒子プラズマにおける微粒子の輸送解析と誘導制御2012

    • 著者名/発表者名
      高橋和生
    • 学会等名
      第73 回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学
    • 年月日
      2012-09-13
  • [学会発表] Application of guided particles in dusty plasmas for carbon nanotube syntheses2012

    • 著者名/発表者名
      高橋和生, 美山遼, 黒田将成
    • 学会等名
      39th European Physical Society Conference on Plasma Physics joint with the 16th International Congress on Plasma Physics
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 年月日
      2012-07-04

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公開日: 2018-02-02  

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