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2014 年度 実績報告書

超高品質半導体原子層物質の革新的合成・機能化法の開発

公募研究

研究領域原子層科学
研究課題/領域番号 26107502
研究機関東北大学

研究代表者

加藤 俊顕  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (20502082)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
キーワード半導体原子層物質 / プラズマCVD / 機能化 / フォトルミネッセンス / 局在励起子
研究実績の概要

初年度である今年度は, 高品質単層二硫化タングステン(WS2)の合成と, 光物性評価に特化した研究を行い, 以下の成果を得た.
(1) 高品質大面積WS2の合成
本研究では熱CVDにおける原料ガス, 触媒, 合成温度等の最適化を通じた, 高品質, 大面積WS2結晶の合成を試みた. その結果, 極めて狭い特定の合成条件下において, 100um程度結晶サイズを持つ高品質大面積WS2合成に成功した. また, 詳細な発光スペクトルの空間分布測定から, 合成したWS2が面内一様にかつ非常に強い発光強度を示すことを明らかとした. この結果は, 非常に良好な品質のWS2単結晶が合成できたことを意味している.
(2) WS2における局在励起子の観測
上記の手法で合成した単層WS2の低温 (80 K) 下における, PL特性の空間分布を精密に測定した. その結果, WS2のグレインバウンダリーにおいて非常に狭い(~10 meV)半値幅を持つ特異なPLピークを観測することに成功した. このPLスペクトル, 及びPLピークが得られる空間分布の温度依存性等を詳細に測定した結果, 今回観測されたピークが, グレインバウンダリー欠陥周辺に物理吸着したN2分子に, 自由励起子が補足されることにより生じた極めて強い局在状態を有する局在励起子からの発光であることを明らかとした. この様な, 原子層薄膜中における局在励起子の存在を実験的に明らかにしたのは本成果が初めてのものである. 一般に局在励起子は, 高い発光効率, 及びコヒーレントな光を持つことから, 主に光量子応用分野に向け大きな注目を集めている. 従って, 本発見は, 原子層薄膜の光量子分野への応用の可能性を見出した点で重要な意味を持つものである.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

今年度は, 高品質大面積WS2の合成を主目的として研究を行った. 当初の予定では, 原料ガスをプラズマ化したプラズマCVDを用いる予定であったが, 本反応は複雑なため, その前段階として熱エネルギーのみにより原料ガスをかい離する熱CVDを用いて, 高品質・大面積のWS2合成に取り組んだ. その結果, 結晶サイズ100umを超える非常に高品質な単層・単結晶WS2の合成に成功した. 次年度以降では, 本装置にプラズマ効果を取り入れ, 更なる高品質材料の合成を目指す予定である.
また, 上記のWS2高品質合成に加え, 詳細な光物性測定を通じ, WS2中に存在する局在励起子の存在を世界で初めて明らかにした. 本結果は, 当初予定には含まれていなかった研究成果であることから, "当初の計画以上に進展している"と判断した次第である.

今後の研究の推進方策

今後は, 初年度に開発した高品質WS2合成, 及びプラズマを用いた機能化に関連した, 下記研究課題を重点的に進める予定である.
(1)プラズマCVDを用いた超高品質・大面積WS2の合成
前年度までは, 熱CVD法を用いたWS2の合成に取り組み, 比較的大面積・高品質なWS2合成に成功した. そこで, 次年度以降では, 我々が有するプラズマ理工学的学術基盤を用いてWS2のプラズマCVD装置を開発する. これにより, 更なる精密な合成条件の制御が可能となり, 大面積かつ超高品質なWS2の合成を実現する.
(2)プラズマ機能化によるWS2の新物性発現
初年度に合成した高品質WS2に対してマイルドプラズマ反応による選択的エッジ修飾を行う. マイルドプラズマ反応とは, 我々が開発した選択的機能化法であり, これまでグラフェンエッジへの選択的原子・分子の修飾, 及びこれによるグラフェン全体の電子状態制御の可能性を実証している [Small 7, 574 (2011)]. この方法を応用することにより, 本研究では, WS2原子層物質のエッジにおいて, W原子をMo原子に, あるいはS原子をO, N原子に置き換える反応を実現する. この選択的エッジ修飾により, WS2の新物性発現を実現する.

  • 研究成果

    (47件)

すべて 2015 2014

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (38件) (うち招待講演 9件) 図書 (5件)

  • [雑誌論文] Effect of Ion Impact on Incubation Time of Single-Walled Carbon Nanotubes Grown by Plasma Chemical Vapor Deposition2014

    • 著者名/発表者名
      B. Xu, T. Kato, K. Murakoshi, and T. Kaneko
    • 雑誌名

      Plasma and Fusion Research: Rapid Communications

      巻: 9 ページ: 1206075-1-3

    • DOI

      10.1585/pfr.9.1206075

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement of Electrical Device Performances for Graphene Directly Grown on a SiO2 Substrate by Plasma Chemical Vapor Deposition2014

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, T. Kato, and T. Kaneko
    • 雑誌名

      Plasma and Fusion Research: Rapid Communications

      巻: 9 ページ: 1206079-1-3

    • DOI

      10.1585/pfr.9.1206079

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Stable PN Junction Single-Walled Carbon Nanotube Thin Films by Position Selective Cs Plasma Irradiation Method2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Abiko, T. Kato, R. Hatakeyama, and T. Kaneko
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 518 ページ: 012013-1-5

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012013

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Optical Detection of a Highly Localized Impurity State in Monolayer Tungsten Disulfide2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 雑誌名

      ACS Nano

      巻: 8 ページ: 12777-12785

    • DOI

      10.1021/nn5059858

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Advanced Plasma Processing for Controlled Synthesis of Atomically-Thin2015

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015/IC-PLANTS2015)
    • 発表場所
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • 年月日
      2015-03-26 – 2015-03-31
    • 招待講演
  • [学会発表] CVD synthesis of monolayer transition metal dichalcogenides2015

    • 著者名/発表者名
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      CVD synthesis of monolayer transition metal dichalcogenides
    • 発表場所
      Nagoya University (nagoya, Japan)
    • 年月日
      2015-03-26 – 2015-03-31
  • [学会発表] プラズマCVDによるグラフェンナノリボンの架橋合成機構2015

    • 著者名/発表者名
      鈴木 弘朗, 加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] Improvement of Growth Yield for Graphene Nanoribbons by Plasma Chemical Vapor Deposition2015

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • 学会等名
      The Joint Symposium of 9th International Symposium on Medical, Bio- and Nano-Electronics, and 6th International Workshop on Nanostructures & Nanoelectronics
    • 発表場所
      Tohoku University (Sendai, Japan)
    • 年月日
      2015-03-02 – 2015-03-04
  • [学会発表] High Purity Small Diameter Single-Walled Carbon Nanotube Synthesized by Precisely-Controlled Pluse Plasma CVD2015

    • 著者名/発表者名
      B. Xu, T. Kato, and T. Kaneko
    • 学会等名
      The Joint Symposium of 9th International Symposium on Medical, Bio- and Nano-Electronics, and 6th International Workshop on Nanostructures & Nanoelectronics
    • 発表場所
      Tohoku University (Sendai, Japan)
    • 年月日
      2015-03-02 – 2015-03-04
  • [学会発表] 2次元半導体薄膜の構造制御合成と光物性2015

    • 著者名/発表者名
      加藤 俊顕 金子 俊郎
    • 学会等名
      「東北大学電気通信研究所 平成26年度共同プロジェクト研究発表会」
    • 発表場所
      東北大学 (宮城県)
    • 年月日
      2015-02-23 – 2015-02-23
    • 招待講演
  • [学会発表] プラズマCVD中グラフェンナノリボンの合成機構2015

    • 著者名/発表者名
      鈴木 弘朗, 加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • 学会等名
      仙台“プラズマフォーラム”平成26年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県)
    • 年月日
      2015-02-19 – 2015-02-20
  • [学会発表] 単層二硫化タングステンにおける強局在不純物準位の光学的観測2015

    • 著者名/発表者名
      加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • 学会等名
      第3回ナノカーボン研究会
    • 発表場所
      高湯温泉旅館玉子湯 (福島県)
    • 年月日
      2015-02-09 – 2015-02-10
    • 招待講演
  • [学会発表] Plasma Synthesis and Functionalization of Semiconductor Graphen2015

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      プラズマ材料科学第153委員会 第119回研究会 「機能化ナノカーボンの実用化プラズマ技術戦略」
    • 発表場所
      秋保リゾート・ホテルクレセント(宮城県)
    • 年月日
      2015-01-30 – 2015-01-30
    • 招待講演
  • [学会発表] Pulse Plasma CVD for Narrow Chirality Distribution Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes2014

    • 著者名/発表者名
      B. Xu, T. Kato, and T. Kaneko
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館 (神奈川県)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
  • [学会発表] High Yield Synthesis of Graphene Nanoribbon by Plasma CVD2014

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館 (神奈川県)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
  • [学会発表] Advanced plasma processing for atomic scale layered-semiconductor materials2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館 (神奈川県)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • 招待講演
  • [学会発表] プラズマCVD中グラフェンナノリボン合成におけるプラズマ効果2014

    • 著者名/発表者名
      鈴木 弘朗, 加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • 学会等名
      PLASMA CONFERENCE 2014
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県)
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-20
  • [学会発表] 非平衡マイルドプラズマプロセスによるグラフェンの構造制御合成とデバイス応用2014

    • 著者名/発表者名
      加藤 俊顕,金子 俊郎
    • 学会等名
      PLASMA CONFERENCE 2014
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県)
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-20
    • 招待講演
  • [学会発表] Novel-Concept Solar Cells Using Plasma-Functionalized SWNTs Thin Films2014

    • 著者名/発表者名
      R. Hatakeyama, T. Akama, T. Kato, and T. Kaneko
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-V)
    • 発表場所
      Meliá Costa del Sol Hotel (Málaga, Spain)
    • 年月日
      2014-09-28 – 2014-10-02
    • 招待講演
  • [学会発表] 半導体原子層物質のプラズマ合成2014

    • 著者名/発表者名
      加藤 俊顕,金子 俊郎
    • 学会等名
      平成26年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「微粒子プラズマ物理に基づいた新規ナノ材料創成 」
    • 発表場所
      東北大学 (宮城県)
    • 年月日
      2014-09-25 – 2014-09-26
    • 招待講演
  • [学会発表] 高配向半導体カーボンナノチューブ薄膜を用いた 太陽電池の創製2014

    • 著者名/発表者名
      赤間俊紀, 加藤俊顕, 安彦嘉浩, 畠山力三, 金子俊郎
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 (北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] 単層WS2グレインバウンダリーからの特異な発光現象2014

    • 著者名/発表者名
      加藤 俊顕,金子 俊郎
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 (北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] 架橋グラフェンナノリボンアレイの高校率合成2014

    • 著者名/発表者名
      鈴木 弘朗, 加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 (北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] プラズマCVD中グラフェンナノリボンの合成機構2014

    • 著者名/発表者名
      加藤 俊顕,鈴木 弘朗, 畠山 力三, 金子 俊郎
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 (北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • 招待講演
  • [学会発表] パルスプラズマCVDによる(6,4)単層カーボンナノチューブの高純度合成2014

    • 著者名/発表者名
      許斌,加藤俊顕,金子俊郎
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 (北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] マイルドプラズマによる遷移金属ダイカルコゲナイドの機能化2014

    • 著者名/発表者名
      髙橋 智之, 加藤 俊顕,金子 俊郎
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学 (北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] Bound excitons in monolayer tungsten disulfide2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学 (愛知県)
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [学会発表] Photovoltaic features of densely-arrigned pn junction semiconducting single-walled carbon nanotube filmsd Carbon Nanotube Films2014

    • 著者名/発表者名
      T. Akama, T. Kato, Y. Abiko, R. Hatakeyama and T. Kaneko
    • 学会等名
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学 (愛知県)
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [学会発表] The growth of high density aligned graphene nanoribbons array from nickel nanobar under rapid heating plasma CVD2014

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • 学会等名
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学 (愛知県)
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [学会発表] High yield synthesis of (6,4) single-walled carbon nanotube by pulse plasma CVD2014

    • 著者名/発表者名
      B. Xu, T. Kato, T. Kaneko
    • 学会等名
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学 (愛知県)
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [学会発表] Growth and Mild Plasma Functionalization of Transition Metal Dichalcogenides2014

    • 著者名/発表者名
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 発表場所
      名古屋大学 (愛知県)
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [学会発表] Cs内包半導体カーボンナノチューブを用いた赤外光吸収太陽電池の創製2014

    • 著者名/発表者名
      赤間俊紀, 加藤俊顕, 安彦嘉浩, 畠山力三, 金子俊郎
    • 学会等名
      第8回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家(静岡県)
    • 年月日
      2014-08-31 – 2014-09-02
  • [学会発表] マイルドプラズマによる遷移金属ダイカルコゲナイドの合成と機能化2014

    • 著者名/発表者名
      髙橋 智之, 加藤 俊顕,金子 俊郎
    • 学会等名
      第8回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家(静岡県)
    • 年月日
      2014-08-31 – 2014-09-02
  • [学会発表] Synthesis of (6,5) enriched single-walled carbon nanotubes with parameter-controlled plasma CVD process2014

    • 著者名/発表者名
      B. Xu, T. Kato, T. Kaneko
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies- The IUMRS International Conference in Asia
    • 発表場所
      Fukuoka University (Fukuoka, Japan)
    • 年月日
      2014-08-24 – 2014-08-30
  • [学会発表] Growth and Functionalization of Transition Metal Dichalcogenides2014

    • 著者名/発表者名
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      平成26年度電気関連学会東北支部連合大会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2014-08-20 – 2014-08-21
  • [学会発表] Solar Cell Fabrication with Controllably Carrier doped Semiconducting Single-Walled Carbon Nanotube Films2014

    • 著者名/発表者名
      T. Akama, T. Kato, Y. Abiko, R. Hatakeyama and T. Kaneko
    • 学会等名
      平成26年度電気関連学会東北支部連合大会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2014-08-20 – 2014-08-21
  • [学会発表] 超高品質半導体原子層物質の革新的合成・機能化法の開発2014

    • 著者名/発表者名
      加藤俊顕
    • 学会等名
      科研費 新学術領域研究「原子層科学」第3 回全体会議
    • 発表場所
      東京大学 (東京都)
    • 年月日
      2014-08-06 – 2014-08-06
  • [学会発表] Fabrication of infrared solar cell with controllably carrier doped stable semiconducting single-walled carbon nanotube filmss2014

    • 著者名/発表者名
      T. Akama, T. Kato, Y. Abiko, R. Hatakeyama and T. Kaneko
    • 学会等名
      The Fourteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT14)
    • 発表場所
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • 年月日
      2014-06-02 – 2014-06-06
  • [学会発表] Photoluminescence study of tungsten disulfide grain boundaries2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      The Fourteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT14)
    • 発表場所
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • 年月日
      2014-06-02 – 2014-06-06
  • [学会発表] Effects of plasma on growth of suspended graphene nanoribbon from nickel nanobar under rapid heating plasma CVD2014

    • 著者名/発表者名
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • 学会等名
      The Fourteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT14)
    • 発表場所
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • 年月日
      2014-06-02 – 2014-06-06
  • [学会発表] Growth and functionalization of layered transition metal dichalcogenides by controllable mild plasma treatment2014

    • 著者名/発表者名
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      The Fourteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT14)
    • 発表場所
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • 年月日
      2014-06-02 – 2014-06-06
  • [学会発表] Selectively synthesis of (6,5) and (6,4) enriched SWNTs by pulse plasma CVD2014

    • 著者名/発表者名
      B. Xu, T. Kato, M, Murakoshi, T. Kaneko
    • 学会等名
      The Fourteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT14)
    • 発表場所
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • 年月日
      2014-06-02 – 2014-06-06
  • [図書] 電気学会誌2015

    • 著者名/発表者名
      加藤俊顕, 金子俊郎
    • 総ページ数
      194 (151-153)
    • 出版者
      一般社団法人 電気学会
  • [図書] Frontiers of Graphene and Carbon Nanotubes2015

    • 著者名/発表者名
      Toshiaki Kato, Rikizo Hatakeyama, and Toshiro Kaneko
    • 総ページ数
      289 (37-52)
    • 出版者
      Springer
  • [図書] Frontiers of Graphene and Carbon Nanotubes2015

    • 著者名/発表者名
      Rikizo Hatakeyama, Toshiaki Kato, Yongfeng Li, and Toshiro Kaneko
    • 総ページ数
      289 (143-164)
    • 出版者
      Springer
  • [図書] プラズマエレクトロニクス分科会会報2014

    • 著者名/発表者名
      加藤俊顕, 畠山力三
    • 総ページ数
      90 (9-10)
    • 出版者
      公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
  • [図書] ニューダイヤモンド2014

    • 著者名/発表者名
      加藤俊顕, 畠山力三, 金子俊郎
    • 総ページ数
      53 (3-5)
    • 出版者
      オーム社

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公開日: 2016-06-01  

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