| 研究領域 | 3次元半導体検出器で切り拓く新たな量子イメージングの展開 |
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| 研究課題/領域番号 |
26109505
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
小野 篤史 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (20435639)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| キーワード | 量子イメージング / プラズモン / SOI |
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| 研究実績の概要 |
本研究目的は，紫外域から赤外域にかけて波長選択性の高いイメージセンサを開発することである．本研究目的達成のため，申請者の専門分野であるプラズモニックデバイスを応用する．提案するイメージセンサは，金属凹凸構造を有するプラズモニックデバイスをSOI基板部にオンチップ形成し，SOI基板をセンサとし（裏面照射型），薄膜SOIに検出回路を集積化した3次元構造である．凹凸周期に対応した波長をもつ光のみが，金属中の伝導電子と共鳴し，センサ部にて高効率に吸収される．金属構造を工夫し，任意波長の光を任意の位置に集光，局在させることにより，従来の裏面照射型の課題であった光クロストークを極限にまで低減することが可能となり，色純度の極めて高いイメージセンサを実現する．
今年度は，プラズモンフィルタ構造パラメータを目的波長に対して計算により最適化した．プラズモンフィルタの試作に取り組み，本作製手法を確立した．
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
波長フィルタリングプラズモニックデバイスを開発することを目的として研究を計画通り進めた．目的波長を設定し，構造を計算により最適化した．最適化したパラメータをもとに，金属を加工してプラズモンフィルタを作製した．
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| 今後の研究の推進方策 |
作製したプラズモンフィルタの透過スペクトルを計測する．SOIイメージセンサにプラズモンフィルタを実装する．紫外・可視・近赤外SOI量子イメージセンサの開発を目指す．
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