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2011 Fiscal Year Annual Research Report

プラズマとナノ界面の相互作用に関する総括研究

Administrative Group

Project AreaCreation of Science of Plasma Nano-Interface Interactions
Project/Area Number 21110001
Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

白谷 正治  九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 寺嶋 和夫  東京大学, 新領域創成科学研究科, 教授 (30176911)
斧 高一  京都大学, 工学研究科, 教授 (30311731)
永津 雅章  静岡大学, 創造科学技術大学院, 教授 (20155948)
小松 正二郎  物質・材料研究機構, ワイドバンドギャップ半導体グループ, グループリーダー (60183810)
後藤 元信  熊本大学, バイオエレクトリクス研究センター, 教授 (80170471)
Keywordsプラズマ / ナノ界面 / 相互作用 / トップダウンプロセス / ボトムアッププロセス / 揺らぎ
Research Abstract

本研究では、プラズマとナノ界面の1)揺らぎ決定機構の解明、2)揺らぎを抑制する方法の開発、3)揺らぎを増幅する方法の開発という研究領域の目的を達成するため、プラズマナノ界面をプラズマ-固体界面、プラズマ-液体界面、超臨界プラズマ内、プラズマ-生体界面に分類して各計画研究の成果を総括検討している。平成23年度、本領域目的の達成に関連する成果を以下に示す。
【AO1 班(ナノ界面プラズマを作る)】プラズマとナノ界面の相互作用が顕著に表れる、超臨界クラスタ流体中のプラズマ、集積化マイクロソリューションプラズマ、固・液・気・超臨界相が混在するプラズマ等を創成するとともに、媒体・発生法の多様化、スケールアップ、制御性向上、及びプラズマの内部評価を行った。これらはプラズマとナノ界面の相互作用に現れる揺らぎ決定機構の理解とその制御方法の開発につながる成果である。
【AO2 班(ナノ界面プラズマを見る)】プラズマとナノ界面に関係する諸量の計測を中心に研究を推進している。プラズマ中のラジカルの密度揺らぎとナノ粒子成長の揺らぎの相互作用をについて研究し、プラズマ-固体界面における、ナノ界面揺らぎの増幅・抑制条件について重要な知見を得た。プラズマで発生し生体に照射されたラジカルの定量と生体内に対するラジカル作用を観察することに成功し、プラズマ-生体界面の相互作用観察に成功した。プラズマ-液体界面については、シミュレーションと実験の双方向からの検討を行い、シミュレーション手法を用いた相互作用の評価に成功し、この高精度化を進めた。
【AO3班(ナノ界面プラズマを使う)】プラズマナノ界面における揺らぎ制御法の応用研究として、ULSI用の次世代ナノ加工技術の高精度化、超臨界流体プラズマの材料プロセシング、バイオ・医療分野への応用、新規多型結晶創成、プラズマの構造を液体界面への直接転写、高効率メタノール合成に成功した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

領域内、および領域外研究者との連携の下、1)揺らぎ決定機構の解明、2)揺らぎを抑制する方法の開発、3)揺らぎを増幅する方法の開発という研究領域の目的達成に見通しがついたことから判断した。

Strategy for Future Research Activity

本研究領域の目的達成のため、研究の方向性をある程度統一しながら研究をさらに強力に推進する。このため、領域内外の研究連携推進と情報公開の推進を行う。
領域内外の研究連携強化については、深い議論と連携を推進するために、合宿型の全体会議、班会議だけでなく班を横断するテーマ別会議、研究会等を実施する。また、本研究領域の成果を世界に広く発信して、日本初の研究領域を世界に広めるために、海外との研究連携も積極的に進める。
情報公開の推進については、専門家向けの学術論文の出版、学会等での講演だけでなく、一般市民向けに、公開シンポジウムを開催するとともに、ホームページに一般向けの解説を掲載する予定である。
このほか、研究シーズ、若手研究者の育成の推進を行う。

  • Research Products

    (11 results)

All 2012 2011 Other

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (9 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Nano-factories in plasma : present status and outlook2011

    • Author(s)
      M.Shiratani, K.Koga, S.Iwashita, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • Journal Title

      Journal of Physics D : Applied Physics

      Volume: 44 Pages: 174038-1-174038-8

    • DOI

      1088/0022-3727/44/17/174038

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Plasma fluctuation and plasma nanotechnologies2012

    • Author(s)
      M.Shiratani, K.Kamataki, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki, K.Koga
    • Organizer
      The 5th International Conference on Plasma Nanotechnology and Science (IC-PLANTS 2012)
    • Place of Presentation
      犬山国際観光センター,犬山市(招待講演)
    • Year and Date
      2012-03-09
  • [Presentation] フラズマとナノ界面の相互作用の制御2012

    • Author(s)
      白谷正治, 古閑一憲, 内田儀一郎, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂
    • Organizer
      東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会,仙台"プラズマフォーラム"
    • Place of Presentation
      秋保温泉岩沼屋,仙台市(招待講演)
    • Year and Date
      2012-02-18
  • [Presentation] Negative and positive feedback of nanoparticle growth in reactive plasmas2012

    • Author(s)
      M.Shiratani
    • Organizer
      第8回日欧プラズマプロセス共同シンポジウム
    • Place of Presentation
      東大寺総合文化センター金鐘ホール,奈良市(招待講演)
    • Year and Date
      2012-01-17
  • [Presentation] Recent progress in frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces2012

    • Author(s)
      M.Shiratani, K.Koga, K.Kamataki, G.Uchida, H.Seo, N.Itagaki
    • Organizer
      The 14th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
    • Place of Presentation
      九州大学箱崎キャンパス21世紀プラザ,福岡市(招待講演)
    • Year and Date
      2012-01-08
  • [Presentation] プラズマプロセスにおける揺らぎの制御2011

    • Author(s)
      白谷正治
    • Organizer
      プラズマ・核融合学会第15回九州・沖縄・山口支部大会
    • Place of Presentation
      大分大学工学部,大分市(招待講演)
    • Year and Date
      2011-12-17
  • [Presentation] プラズマとナノ界面の相互作用制御の新展開2011

    • Author(s)
      白谷正治
    • Organizer
      プラズマエレクトロニクス分科会20周年記念特別シンポジウム
    • Place of Presentation
      名古屋大学野依記念学術交流会館,名古屋市(招待講演)
    • Year and Date
      2011-10-22
  • [Presentation] Plasma CVD of nanoparticle composite films and their applications2011

    • Author(s)
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida
    • Organizer
      The 8th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2011)
    • Place of Presentation
      大連市,大連(招待講演)
    • Year and Date
      2011-09-20
  • [Presentation] Frontier science of interactions between plasmas and nano-interfaces2011

    • Author(s)
      M.Shiratani, G.Uchida, H.Seo, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga
    • Organizer
      (ICPAT2011)4th International Conference on Advanced Plasma Technologies
    • Place of Presentation
      Strunjan(ストルニアン),スロベニア(招待講演)
    • Year and Date
      2011-09-12
  • [Presentation] Fluctuation Control towards Ultimate Plasma Nanotechnologies2011

    • Author(s)
      M.Shiratani, K.Koga, G.Uchida, N.Itagaki, K.Kamataki
    • Organizer
      第24回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM-24)
    • Place of Presentation
      大阪大学銀杏会館,吹田市(招待講演)
    • Year and Date
      2011-07-19
  • [Remarks]

    • URL

      http://mm4.ed.kyushu-u.ac.jp/kyudai/index.html

URL: 

Published: 2013-06-26  

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