2002 Fiscal Year Annual Research Report
非線形ロバスト制御系設計手法の開発及び機械系への応用
Project/Area Number |
01F00208
|
Research Institution | Sophia University |
Principal Investigator |
田村 捷利 上智大学, 理工学部, 教授
|
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
DI ZHOU 上智大学, 理工学部, 外国人特別研究員
|
Keywords | 機械系制御 / 同期制御 / ロバスト制御 |
Research Abstract |
同期制御手法の開発とX-Yステージにおける応用 まず、状態方程式によって表される制御対象に対して,同期制御系の設計手法を提案した。この同期制御手法は,従来よくあるマスター・スレーブ式構造から、パラレル型に変更し,同期化誤差を設計仕様に陽に反映させることによって,同期化精度を向上させる発想に基づいたものであり、制御器は状態フィードバックをベースに、適応機能を持つ同期化制御補償を導入することによって構成される。また、状態フィードバックゲインの選択には,以下二通りの手法を用いることを提案した。 (1)LQ最適レギュレータ設計手法 (2)H∞混合感度関数準最適化設計 (3)単純比例ゲイン なお、上記提案した設計手法は、日本のある大手半導体露光装置メーカーが開発現場で使用している多自由度ステージのシミュレータを用いてシミュレーションを行い、現在使用している制御系より良い制御性能が確認できた。 摩擦特性を伴う空気調整弁の制御手法の開発 機械系などによく見られる非線形不確かさとして静摩擦特性が挙げられる。本研究では,静摩擦特性が顕著に現れる空気圧調整弁を対象に、未知外乱が加わる場合のロバスト制御手法を開発し,産業現場で広く使われる実際の製品を用いて、実験による検証を行った。
|
Research Products
(1 results)