1991 Fiscal Year Annual Research Report
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02555014
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| Research Institution | Osaka University. |
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Principal Investigator |
志水 隆一 大阪大学, 工学部, 教授 (40029046)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
大堀 謙一 堀場製作所, 開発3部, 係長
生田 孝 大阪電気通信大学, 広用電子工学科, 教授 (20103343)
木村 吉秀 大阪大学, 工学部, 助手 (70221215)
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| Keywords | コインシデンス / 透過型電子顕微鏡 / 元素分析 / 位置敏感検出器 / 二次観察 |
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| Research Abstract |
本研究は,電子顕微鏡,JEM-120CXを改造し,これに大口径X線検知器をとりつけ、更に蛍光板の代りに二次元位置敏感検出器(PSD)を用いて、X線とX線励起透過電子とのコインシデンスをとることによって,透過型電子顕微鏡を用いて試料中の元素分布の二次マッピングを行おうとするものである。現時点で得られている成果を次に記す。
(1)大口径X線検知器として1インチ径のシンチレ-タを特注してJEM-120CXにとりつけ,パルス汲高分布より特性X線を検出するシステムを製作した。
(2)高速に信号処理出来る2次元検出器としてPSDを購入し,位置敏感型光電子増倍管(PSPM)を製作し,これに自作した高速信号処理回統システムを接続した。本システムの性能は、立ち上がり時間5.5(ns)伝達時間17(ns)伝達広がり1.0(ns)できわめて良好なPSPMとして動作することを確認した。
(3)コインシデンス測定
予備実験として,蛍光板に透過電子を照射して,蛍光の方はPSPMで検出し,蛍光板より出るX線の方は,レンテレ-タ(NaI)で検出して,両者のコインシデンスをとることにした。その結果、遅延時間約260Sのところで、明瞭なコインシデンスピ-クを確認することが出来た。
今後の課題は,実際に膜原のわかった試料を入れて,試料からの特性X線を検出して、目的とする二次元マッピングを観測することである。このためには、若干X線の遮ヘイなどの装置の改造が必要となるものと思われるが、実現に向けての十分な成果を得ている。
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[Publications] Y.Kimura,K.Sugimoto,M.Yasuno,R.Shimizu: "Development of Coincidence TEM(I) Imape Conetruction by PSMP." Technol.Rapts,Osaka University. 42. (1992)
