1990 Fiscal Year Annual Research Report
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02555045
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
中島 尚正 東京大学, 工学部, 教授 (00011073)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
和田 哲夫 アイシン精機(株), 第2技術開発研究所, 研究員
村上 存 東京大学, 工学部, 講師 (20212251)
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| Keywords | マイクロマシン / スタ-リングエンジン / アクチュエ-タ / マイクロエンジン / カテ-テル |
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| Research Abstract |
1.エンジンの基礎構成要素にかんする解析、設計、試作および評価
フリ-ピストン型で、掃過容積が50μlの超小型スタ-リングエンジンの単体の試作に成功した。高温源と低温源の温度差を100Kとしたときの出力は約10mWであり、比出力は約1W/kgであった。この比出力はすでに超小型電気モ-タを上回る値であるが、材料、熱交換器、ピストンシリンダ機構の改良や改善により、10〜100倍に高めることが可能であることが分かった。
2.光熱駆動型アクチュエ-タの可能性
上記試作エンジンを分散化し、さらに、マイクロ化するために、シリコンの微細加工によるダイアフラムの製作法および熱源としてレ-ザ光を光ファイバ-を介して用いることを検討している課程で、このタイプの超小型分散型エンジンを医療用の能動型インテリジェントカテ-テルの姿勢制御として応用することが有効であることが分かった。そこで、この方向で、光熱駆動型の分散型アクチュエ-タとして設計をはじめて、プロトタイプを試作した。
試作品は、外形1mm角、ダイアフラムの膜厚は0.8μmでり、約10μmの変位が光ファイバ-を介した光源により得られた。
この成果の一部は、日本機械学会秋季総会のマイクロマシンのセッション、日本機械学会システム工学委員会の「マイクロマシンの世界」分科会ですでに発表し、マイクロマシン研究会のマイクロシンポジウム(平成3年3月20日)でも講演を依頼されている。
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[Publications] 中島 尚正: "マイクロスタ-リングエンジン" 日本ロボット工学会誌. 8. 492-494 (1990)
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[Publications] 中島 尚正,水野 智公 他: "光熱駆動型マイクロアクチュエ-タ" Micro Machine (Journal of Micromachine Society). 4. (1991)
