2002 Fiscal Year Annual Research Report
医療用,非平衡大気圧マイクロセルプラズマのモデリング
Project/Area Number |
02F00827
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Research Institution | Keio University |
Principal Investigator |
真壁 利明 慶應義塾大学, 理工学部, 教授
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
VAN Dijk Jan 慶應義塾大学, 理工学部, 外国人特別研究員
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Keywords | マイクロセルプラズマ / 医療用プラズマ / プラズマトリートメント / ガス温度効果 / VHFプラズマ / 原料ガス流れ |
Research Abstract |
マイクロサイズのプラズマが工学的に利用される時代が到来しようとしている。受け入れ研究員(真壁)は一個のマイクロセルに効率よく高密度プラズマを維持する研究を継続している。本研究は大気圧プラズマのモデリングの専門家であるvan Dijk博士とともに、大気圧で動作するマイクロセルプラズマの構造とその動作を解明し、内視鏡と整合性がいい医療用多目的マイクロセルプラズマを開発することを目的としている。H14.12月から慶応大学で研究に参加したvan Dijk博士は、 1)まず慶応大学で開発した緩和連続モデルによる低温プラズマモデリング手法を修得している(H14.12-H15.2)。 2)マイクロセルの基礎過程からセル自身が高温となることが予想されるために、現在、ガス温度と中性ガス流れを解明すべく、原料ガスの温度とガス流れをモデルに取り入れる作業を行なっている(van Dijk)。 3)マイクロセル内に効率よくプラズマを生成し維持するためには、プラズマ駆動周波数をHFからVHF帯へ上げ、しかも容器壁損失を減少させるデザインが必要である。真壁はこのデザインをセルの幾何形状を電子を溜め込む構造にして実施した。現状での課題は超高周波電源の維持電圧が未だ高いことである。今後、最適化とガス温度の効果を明らかにし、当初の目的を達成したい。
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