1991 Fiscal Year Annual Research Report
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03302025
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
板谷 良平 京都大学, 工学部, 教授 (90025833)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
堀池 靖浩 広島大学, 工学部, 教授 (20209274)
後藤 俊夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (50023255)
籏野 嘉彦 東京工業大学, 理学部, 教授 (90016121)
佐藤 徳芳 東北大学, 工学部, 教授 (40005252)
田頭 博昭 北海道大学, 工学部, 教授 (10001174)
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| Keywords | 反応性プラズマ / シ-ス / プラズマ、固体相互作用 / プラズマ、表面相互作用 |
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| Research Abstract |
本研究課題は半導体プロセスに不可欠の技術であるプラズマプロセシングに関して最も重要な働きをしているが、これまで真剣に研究されることが少なかったプラズマのシ-ス、すなわち、プラズマと固体表面との間に存在するインタ-フェ-スについて、組織的な研究を開始するにあたり、プラズマ、半導体、表面化ならびに物理化学の各分野の専門家が協力して研究の方向を見出そうとするものである。
本年度は3か年計画の初年度に当たるので、まず、問題点の洗い出しを的確に行うために、9月下旬に研究会を開き、各自の研究分担課題の確認を行い、次年度以降の研究計画について討議した。また、今年度の研究成果を報告し、意見の交換を行うために、3月上旬に研究会を開いた。
本年度に得られた主な成果は
1.非発光ラジカルの電極間の密度分布の測定が進み、シ-スを横切るラジカルの流束がの定量的に把握できるようになった。
2.基盤近傍におけるラジカル発生が観測された。
3.微粒子が負に帯電していることが確認された。
4.偏光赤外線反射法による膜堆積のその場観察が威力を発揮し始めた。
5.2次元粒子モデルによるシ-スのシミュレ-ションが開始された。
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