1992 Fiscal Year Annual Research Report
電気的に制御された臨界電流によるジョセフソン接合の実現と直流SQUIDへの応用
Project/Area Number |
03650261
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Research Institution | Nippon Institute of Technology |
Principal Investigator |
鈴木 敏正 日本工業大学, 工学部, 助教授 (30129142)
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Keywords | 酸化物高温超伝導体 / 薄膜 / 微細加工 / 臨界電流 / ジョセフソン接合 / dc-SQUID |
Research Abstract |
1.オファクシススパッタリング法によるYBCO薄膜の作成と評価 スパッタリング法によってYBCO薄膜を作成する場合、作成された薄膜のターゲットからの組成ずれを防ぐため、我が国ではマルチターゲット法が多く用いられている。しかし、この方法では例えばサンドイッチ構造のジョセフソン接合を作製する場合などに、多層膜を連続して作製することが極めて困難となる。そこで、我々はシングルターゲットでYBCO薄膜を作成できる可能性の有るオフアクシス配置スパッタリング法に注目して高品質YBCO薄膜の作成条件を検討した。その結果、後処理なしで液体窒素温度以上の超伝導臨界温度(Tc)を有するYBCO薄膜を得ることに成功した。 2.YBCO薄膜の配向性の制御 基板温度および基板の種類による配向性の制御性について検討した。その結果、マグネシア基板においては基板温度が700℃では完全にc面配向であるが、650℃以下ではa-b面配向性が高くなることがわかった。チタン酸ストロンチウム基板を用いた場合は、基板温度700℃においてもa面配向性が高くなることを確認した。 3.YBCO薄膜の微細加工 初年度に引き続きYBCO薄膜の微細加工技術について検討した。通常のフォリソグラフィーによる微細加工を施しても、超伝導転移温度の低下は無いことを確認した。 4.マイクロブリッジ中への電界によるウィークリンクの誘起とジョセフソン効果の発生の確認 5.二接合マイクロブリッジループの作製と直流SQUID動作の確認 これらについては見るベき成果を得ることができなかったので、今後の課題とする。
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Research Products
(2 results)
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[Publications] 鈴木 敏正: "電気的に制御された臨界電流によるジョセフソン接合接合(第1報)-YBa_2Cu_3Ox薄膜の作成とフォトリソグラフィーによるマイクロブリッジの微細加工-" 日本工業大学研究報告. 22. 81-84 (1992)
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[Publications] 鈴木 敏正: "電気的に制御された臨界電流によるジョセフソン接合接合(第2報)-オフアクシススパッタリング法による酸化物高温超伝導体YBa_2Cu_3Ox薄膜の“その場"成長-" 日本工業大学研究報告. 23. (1993)