2004 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
03F03785
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Research Institution | Kumamoto University |
Principal Investigator |
秋山 秀典 熊本大学, 工学部, 教授
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
ZHANG Chaohai 熊本大学, 工学部, 外国人特別研究員
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Keywords | パルスパワー / 極短紫外光 / EUV / プラズマ / Zピンチ / 磁気パルス圧縮 |
Research Abstract |
1.スズターゲットを用いたリソグラフィ用EUV光源 キセノンキャピラリー放電光源は次世代リソグラフィ用EUV光源として開発されてきた。しかし、現在光源の生成するin-band(2%)は、2pEUV放射で変換効率(CE)1%未満である。スズターゲットを用いることは、13.5nmの波長で高い変換効率のため重要な可能性を持っていることが分かっている。キセノンは背景ガスとして用い、実験によりスズターゲットがCEの改良でEUV放射に寄与したことを示した。 2.水中大容量パルス放電により生成される衝撃波の研究 衝撃波は、水中の電線爆発に伴う高密度パルス放電プラズマチャネルの生成により発生させることが出来る。過去50年間の研究では、電気エネルギーから衝撃波エネルギーへの変換は、比較的に低効率であった。従って、我々の研究では、FUJI圧力フィルムを使用することで水中パルス放電により生成された衝撃波の測定と分析をおこなう。電気的パラメータと電極構成は、衝撃波のエネルギー変換効率が最大になるように構成した。 3.CO_2超臨界における直流プラズマ放電の生成 近年、化学反応のための環境面で許容できる溶剤として超臨界(特にCO_2超臨界)に対する興味が増えてきている。SCFの特徴としては、CO_2超臨界状態の,臨界点付近の高圧状態と比べて絶縁破壊電圧が劇的に下がる、ということが挙げられる。これは、超臨界状態における広域なクラスタが原因だと考えられる。
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Research Products
(1 results)