2004 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
03J01527
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Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
Principal Investigator |
野里 博和 独立行政法人産業技術総合研究所, 次世代半導体研究センター・回路システム技術グループ, 学振特別研究員(PD)
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Keywords | 進化型光学システム / フェムト秒レーザシステム / 可変形ミラー / 遺伝的アルゴリズム / 最適化手法 / 自動制御 |
Research Abstract |
1、概要 本研究では、安価で保守・調整が容易な自動制御フェムト秒レーザシステムを実現することを目的として、研究を進めている。今年度は、可変形ミラーを用いたフェムト秒レーザシステムの調整システムの研究開発を行った。具体的には、最適化手法として遺伝的アルゴリズムを用いた調整アルゴリズムの研究と、昨年度の研究成果である可変形ミラー高速制御ライブラリを用いたレーザシステムの研究開発などを行った。また、研究成果を国際学会で発表し、最新技術動向の調査と共に今後の研究の促進に向けた活動を行った。 2、研究成果 本年度は、可変形ミラーをレーザシステムに組み込み、前年に開発した可変形ミラーの高速制御ライブラリを用いたフェムト秒レーザシステムの開発を行った。この開発したシステムを用いて、実験を行い、遺伝的アルゴリズムによる最適化手法が有効的であることを実証した。また、開発したシステムを用いた加工実験を行い、増幅器なしの状態でのアクリル加工が可能であることを確認した。そしてさらに、進化型光学システムの研究として、遺伝的アルゴリズムの光学分野への応用研究もあわせて行い、いくつかの研究発表、および特許の出願を行った。 3、今後の計画 来年度は、構築した実験環境での実験を進め、新しい知見を見出していく。また、今年度の研究成果である可変形ミラーを用いたフェムト秒レーザシステムの安定性を向上させる研究を行い、産業応用につながる研究を行っていく。さらに、最終年度となるので、これまでの研究成果をまとめ、積極的に外部発表を行っていきたいと考えている。
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Research Products
(3 results)