2005 Fiscal Year Annual Research Report
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03J01527
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Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
Principal Investigator |
野里 博和 独立行政法人産業技術総合研究所, 次世代半導体研究センター, 特別研究員(PD)
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Keywords | 進化型光学システム / フェムト秒レーザシステム / 可変形ミラー / 遺伝的アルゴリズム / 最適化手法 / 自動制御 / 光軸調整 / 光近接効果補正 |
Research Abstract |
1、概要 本研究では、安価で保守・調整が容易な自動制御フェムト秒レーザシステムを実現することを目的として、研究を進めている。今年度は、フェムト秒レーザシステムの励起光源の安定化問題を解決するため、励起光源の導入光路上における光軸調整システムの開発を行った。具体的には、多目的である光軸調整の調整目的に対応するための多目的自動調整アルゴリズムの研究を行い、実験によりその有効性の検証を行った。そして、光軸自動調整システムをフェムト秒レーザシステムに組み込むためのシステムコンポーネントの開発を行った。また、進化型光学システムの実用化に向けた研究として、半導体リソグラフィ技術への応用を行い、光近接効果補正の自動生成技術を研究開発した。 2、研究成果 本年度は、前年に開発した光軸検出センサをシステムに組み込んだ光軸自動調整システムの開発を行った。光軸自動調整では、フェムト秒レーザシステムの励起光源の安定化を目指し、光軸の位置と角度の調整を行った。光軸の位置と角度の調整は、レーザシステムの安定化において最も重要な調整であり、これらが少しでもずれてしまうと、安定したレーザ発振をすることが出来ない。そのため、光軸の位置と角度の自動調整を同時に行う多目的自動調整システムを開発し、レーザシステムの安定化を実現した。開発したシステムを用いた実験により、開発したシステムと手法が有効的であることを実証した。また、半導体リソグラフィ技術への応用では、半導体産業において問題となっている近接効果補正の新しい手法を提案し、シミュレーション実験によりその有効性を検証した。 今年度は、これらの研究成果を含めた3年間の研究成果をまとめ、誌上発表5件,口頭発表2件,の発表を行い、特許4件の出願を行った。
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Research Products
(7 results)