2004 Fiscal Year Annual Research Report
軟X線位相差顕微鏡の開発による多層膜表面・界面の高分解能分析
Project/Area Number |
03J02033
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Research Institution | University of Hyogo |
Principal Investigator |
浜本 和宏 兵庫県立大学, 工学研究科, 特別研究員(DC1)
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Keywords | 軟X線位相差顕微鏡 / EUVリソグラフィー / 欠陥検査 / 位相欠陥 / ミラウ干渉計 |
Research Abstract |
極端紫外線リソグラフィー(EUVL)は次世代の半導体リソグラフィー技術として期待され,2009年には導入される予定である.そのための課題のひとつにマスクの無欠陥化がある. そこで本研究では6インチ角ガラスマスク基板上の多層膜欠陥の高速,かつ高分解な検査法として,位相差極端紫外顕微鏡を開発し,マスクパタンを直接拡大観察し,かつ位相欠陥を同時に観察することを狙いとしている. ニュースバルビームラインに開発する装置を設置する環境の整備をさらに進め,(1)Schwertzchild光学系,(2)ミラウ干渉機構部,(3)ビームスプリッタの開発を進めた.(1)のSchwertzchild光学系は入手した光学系のアライメントを進め,波面収差で2nmまで調整した.(2)のミラウ干渉機構では,まず駆動系としてリング型のピエゾ駆動機構を開発し,0.1nm以下の分解能がえられており,干渉制御の見通しを得ることができた.(3)のビームスプリッタの製作に関しては,多層膜に関しては13.5nmで60%以上を確認でき,大きさ20mm角のビームスプリッタでは,透過・反射特性に関しては,目標の30%以上には達していないが,完成の見通しを得た. また,X線ズーミング管が完成し,顕微鏡としての性能評価を進めており,現在のところ少なくとも100nm以下の分解能は得られている.さらに,NA0.3の光学系を使用するため,焦点深度が100nm以下になる.そこで,サンプルの斜入射型のフォーカス検出器を開発し,50nm以下の分解能が得られた.
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Research Products
(2 results)