1994 Fiscal Year Annual Research Report
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04558001
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| Research Institution | TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
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Principal Investigator |
嶋田 隆一 東京工業大学, 原子炉工学研究所, 教授 (40206181)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
三野 薫 (株)富士電被工機, 開発部・部長付開発, 担当研究職
玉川 徹 (株)東芝, 重電研究所・レーザー技術開発, (研究職)担当課長
鈴木 正昭 東京工業大学, 原子炉工学研究所, 助教授 (70114874)
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| Keywords | 高周波 / トラ-ス形状 / プラズマ / 環境問題 |
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| Research Abstract |
強力な高周波発信器と磁気的にトランス結合された放電管によりトラ-ス形状の大気圧プラズマが実現された。
(1)アルゴンによる大気圧力トラ-ス形状プラズマの生成は安定して出来るようになった。
(2)ヘリウムガスでは、ガスの熱伝導の良さによる熱損失と、動粘性係数の小ささから得られないと推測された。しかしICPにより旋回流を強化した場合、安定にプラズマを維持できる事がわかった。
(3)この旋回流強化のICPプラズマは、ヘリウムにおいて資料の水を投入しても、安定であった。これはまた40MHzの高周波を使用したことによる成果で、世界でもはじめてのことである。
(4)トラ-ス形状のアーク光源は電極消耗がなく、かつ高純度な光を発し、多方面からその応用が期待されている紫外光源になることがわかった。
(5)プラズマの高温をもって、物質の分解・を行い、とくに不活性ガス中での有害物質の分解は、環境問題とからんで大いに重要な問題であり、大気圧無電極トラ-スプラズマがそのために最適であることがわかった。
プラズマ応用特に大気圧プラズマの多方面の応用分野が明らかになったので本成果を公開した。
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