2004 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
04F04074
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Research Institution | Tohoku University |
Principal Investigator |
宮崎 照宣 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
M D NOR A.F. 東北大学, 大学院・工学研究科, 外国人特別研究員
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Keywords | 強磁性トンネル接合 / ノイズ / スパッタ / 微細加工 / フォトリソグラフィ / シグナルアナライザ / ローノイズアンプ / シールドルーム |
Research Abstract |
1.ノイズ測定用トンネル接合の作製 ノイズを測定するための強磁性トンネル接合を作製した.既存のマグネトロンスパッタ装置を用いて,Ta(1.5nm)/FeNi(3nm)/Cu(5nm)/FeCo(5nm)/Al(1.6nm)-O/FeCo(4nm)/IrMn(10nm)/NeFe(20nm)の構成の接合を作製した.また,メタルマスクを用いて最小で100x100μm^2サイズに,またフォトリソグラフィを用いて最小で4x4μm^2サイズに微細加工した. 2.磁気ノイズ測定装置の立ち上げ 強磁性トンネル接合からの磁気ノイズの測定を行うための装置をくみ上げた.既存のベクトルシグナルアナライザに,ローノイズアンプと制御用のパソコンを組み合わせた.またシステム全体を電気磁気シールドルーム内に配置した.これらにより,システムのバックグラウンドのノイズレベルを1x10^<-15>V^2/Hzまで低減することに成功した.また,バッテリ駆動の電源を用いることにより,ラインノイズにより発生する50Hzの高調波のスパイクノイズを無視できるレベルまで低減した.さらに,広い周波数帯域の測定を自動で行うための測定プログラムを作成した.これにより,周波数1Hzから10MHzまでのノイズ測定が可能となった. 3.強磁性トンネル接合の磁気的,電気的特性の測定とノイズの周波数依存性の測定 強磁性トンネル接合の磁気抵抗効果を測定した.また,同じ素子のノイズの周波数依存性を立ち上げたノイズ測定装置を用いて行った.来年度は特性の異なる素子に対して系統的に測定し,これらの相関を詳細に調べることを予定している.
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