2004 Fiscal Year Annual Research Report
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04F04328
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
堀田 栄喜 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MOHANTY Smruti Ranjan 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 外国人特別研究員
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| Keywords | 極端紫外光 / キャピラリー / Zピンチ / プラズマサイズ / 露光光源 / デブリ / スペクトル / 発光効率 |
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| Research Abstract |
種々の形状の放電部を用い,ガス流量(ガス圧)を制御された状態で変化させ,フォトダイオードによりEUV出力を計測し,発光効率に与える影響を調べた。キャピラリー放電とキャピラリーを用いない放電を比べると,キャピラリーを用いない場合には放電気体の拡散のためにピンチが弱く,強い発光を得ることが難しく,予備電離の重要性が示唆された。
新たに製作した透過格子型分光器により,ガス圧,コンデンサ充電電圧に対する線スペクトルの変化を測定した。充電電圧を増加させ,電流を増加させることにより,13.5nm帯の発光はほぼ比例して増えた。しかし,充電エネルギーからEUVへの変換効率は必ずしも増加しない。一方,充電電圧を9kV一定としてガス圧を変化させた場合には,13.5nm帯の発光は次第に減少した。フォトダイオードによるEUV発光の測定からは,ガス圧5 TorrのときにEUV発光が最大になる結果を得ており,透過型分光器による測定結果と整合していない。現在,この原因を検討中である。
また,露光光源としては,プラズマサイズ(光源の断面積と集光立体角の積であるエタンデューで評価)の小さいことが要求されるので,製作したZrフィルター付きピンホールカメラを用いて,EUV発光領域の観測を行った。その結果,ガス圧を高くするに従って,発光領域が下流に移動し,細長くなる現象が観測された。最も高い発光が得られたコンデンサ充電電圧9kV,ガス圧5 Torrの場合についてエタンデューを求めたところ1.4mm^2-srが得られた。
今後,実際に集光可能な光源サイズにおけるEUV発光効率について検討する予定である。
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