1993 Fiscal Year Annual Research Report
強磁場援用直流放電プラズマによる低温下でのダイヤモンド膜合成装置の試作
Project/Area Number |
05555042
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Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
Principal Investigator |
吉川 昌範 東京工業大学, 工学部, 教授 (30016422)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
平田 敦 東京工業大学, 工学部, 助手 (50242277)
戸倉 和 東京工業大学, 工学部, 助教授 (10016628)
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Keywords | 磁場 / 直流放電 / プラズマ / ダイヤモンド / 気相合成 / 低温合成 / 超電導 / ペニングイオン源 |
Research Abstract |
本年度試作した装置は,低温下でダイヤモンドを合成することを目的としたもので,ペニングイオン源を利用したものである.2つの陰極間に1つの円筒状陽極を配置した新しい方式の直流放電プラズマ発生装置と,これに最大3テスラの強磁場を作用させることのできる超電導マグネットを試作した.以下に,本年度の研究実績を示す. 1.ダイヤモンド反応容器である直流放電装置を組み上げ,ガス供給系,真空排気系,電力供給系および冷却供給系を取り付けて,反応容器を完成させた. 2.2つの陰極と1つの陽極をもつ直流放電装置を試作し,磁場を印加しない状態で0.5〜1.0Torr程度の圧力でメタンおよび水素ガスのプラズマが発生できることを確認した.同時に,この装置の耐久性能について調べ,長時間安定したプラズマが発生できることを確認した. 3.電極材料,形状などを検討し,プラズマに与えるガス流量,圧力,電力などの影響を調べた. 4.強磁場を発生させる超電導コイルを冷却する低温恒温装置を製作し,3テスラの磁場を安定して発生できることを確認した. 5.メタン,水素のプラズマの状態を磁場の大きさを変化させて観察し,1テスラの磁場を印可した状態で10^<-3>Torrで放電可能であることを確認した.
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