2006 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
05F05860
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Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
Principal Investigator |
越崎 直人 独立行政法人産業技術総合研究所, 界面ナノアーキテクトニクス研究センター, 研究チーム長
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MARIOTTI Davide 独立行政法人産業技術総合研究所, 界面ナノアーキテクトニクス研究センター, 外国人特別研究員
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Keywords | マイクロプラズマ / 発光分析 / 酸化モリブデン / 低温プロセス / オンデマンド |
Research Abstract |
マイクロプラズマプロセスは、室温大気圧条件下で任意の位置に低投入エネルギーで無機系のナノ構造体を調製することができるオンデマンドな手法として注目されている。研究代表者のグループでもガラスキャピラリー(内径700μm以下)を使った誘導結合型のマイクロプラズマ発生装置を開発し、そのプロセス技術としての可能性について研究を進めてきた。マイクロプラズマ中に気体や液体の原料を導入するCVD法や、熱電子源として導入してある金属ワイヤーを利用した溶射技術として利用することによりプロセシングが可能である。 これまでの研究で、モリブデンワイヤーをアルゴンガス中で発生させたプラズマを利用して溶射することにより、ガス流速・酸素濃度・投入パワーなどの調製条件に依存して、モリブデンの酸化物であるMoO_2やMoO_3が生成したり、粒子状やロッド状になったりすることがわかってきた。この原因を解明するためにプラズマの発光分析を行い、アルゴンや酸素がらの発光スペクトルと生成物の関係との間の相関が明らかになってきた。また、アルゴンの4pレベルからの発光強度から電子温度やガス温度を推測する解析法を開発し、上記の系に適用した。その結果、本研究で取り扱っているマイクロプラズマはガス温度と電子温度が大きく異なり、非平衡性をもつことが明らかとなった。この他にも、単純にキャピラリーのまわりにコイルを巻く配置だけでなく、高周波のかけ方とアースの取り方の異なる他の配置を利用した蒸着法についても検討を行った。
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Research Products
(6 results)