1997 Fiscal Year Annual Research Report
微小部品の機械的特性を評価するマイクロテスティング法の開発研究
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07555029
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| Research Institution | Kanazawa University |
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Principal Investigator |
尾田 十八 金沢大学, 工学部, 教授 (30019749)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
多加 充彦 石川工業試験場, 機械電子部, 研究員
門前 亮一 金沢大学, 工学部, 助教授 (20166466)
北川 和夫 金沢大学, 工学部, 教授 (30019757)
坂本 二郎 金沢大学, 工学部, 助手 (20205769)
山崎 光悦 金沢大学, 工学部, 教授 (70110608)
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| Keywords | マイクロテスティング / マイクロマシン / マイクロマテリアル / 引張試験 / 電子デバイス / 逆解析 / 多層構造 / 材料特性 |
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| Research Abstract |
本研究の最終年度として,次のような研究を実施した.
1.前年度考案・試作した顕微下で行えるマイクロテスティング用引張試験機を用いて,エポキシ基板にアルミ薄膜等を有する2層構造体試料についての特性試験を実施した.そしてこれより薄膜の弾性から塑性および破断に至るまでの応力-ひずみ関係を求めた.ただ結果にかなりの誤差の生ずる場合のあることも解った.そこでその分析を行った所,基板特性と薄膜特性との間で,前者の値が後者のそれに比較し無視出来ない場合に,特にその傾向の強いことがわかった.
2.試作の引張試験機を利用する新しい薄膜特性試験法として,一軸の引張試験でありながら,薄膜の面内せん断強さと2軸引張強さとを評価する試験方法を考案した.その方法はFEMシミュレーション手法を基本とした2次元の多連結物体創生法を用いたものである.つまり試験片の基本原形をまず決め,次に破断部での純せん断や2軸引張り応力を正確に保つ形状を最適化手法を応用して決めるものである.
3.2で提案した手法の有効性をアルミ板を用いた試験片を作製することによって実施確認した.
4.3ヶ年にわたる本研究のまとめして,研究成果報告書の作成を行った.
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[Publications] 尾田十八: "引張試験を利用したマイクロテステイング法の開発" 日本機械学会講演論文集. 974-1. 35-36 (1997)
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[Publications] 尾田十八: "卵殻の構造・組織の力学的評価" 日本機械学会論文集(A). 63・606. 431-436 (1997)
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[Publications] 尾田十八: "Mechanical Evaluations of Stmctural and Material Conposition of Eggshell" JSME Int,J.(Series A). 41・1. 121-126 (1998)
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[Publications] 尾田十八: "計算力学システムとその新技術への応用研究分科会報告書" 日本機械学会, 359 (1997)
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[Publications] 尾田十八: "形と強さのひみつ" オーム社, 132 (1997)
