2007 Fiscal Year Annual Research Report
有機電子デバイスのための共役高分子の大面積、高解像度での加工技術
Project/Area Number |
07F07336
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Research Institution | Kyushu University |
Principal Investigator |
高原 淳 Kyushu University, 先導物質化学研究所, 教授
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
WANG Z 九州大学, 先導物質化学研究所, 外国人特別研究員
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Keywords | パターニング / エポキシスタンプ / 導電性高分子 / 有機FET / リフトオフ / 転写 |
Research Abstract |
本研究ではインクジェット法、ナノインプリンテイング法などのトップダウン技術と高分子の結晶化、基板の濡れ特性を認識したインテリジェント濡れなどの自己組織化技術を組み合わせた有機電子材料のナノ加工技術について研究を展開し、将来の高分子エレクトロニクスに必要不可欠な基盤技術を確立することを目的とする。本年度は脱着法を用いた高分子のパターン化技術を検討した。 シリコンエラストマー上に、ポリ(3-ヘキシルチオフェン)、ポリフェニレンビニレン誘導体などの有機半導体を製膜し、その上にパターンで凹凸を形成したエポキシスタンプを押しつけ、加熱すると、エポキシスタンプ表面に有機半導体膜が転写される。転写された有機半導体膜をシリコン基板などに押しつけ加熱し、エポキシスタンプを脱着することにより、種々の基板に有機半導体膜等の機能性材料が転写可能であることを、AFM観察により確認した。特にポリ3-ヘキシルチオフェンに関しては電極を形成し、トップコンタクト型FETを調製し、その種々のゲート電圧におけるFET特性を評価した
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Research Products
(1 results)