2007 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
07F07386
|
Research Institution | Ritsumeikan University |
Principal Investigator |
杉山 進 Ritsumeikan University, COE推進機構, 教授
|
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
DAUVAN Thanh 立命館大学, COE推進機構, 外国人特別研究員
|
Keywords | fluidic inertial sensor / jet pump / in-plane hotwire |
Research Abstract |
本研究はMEMS技術を用いた流体式多軸慣性センサの開発に関する研究である。マイクロスケールのセンシングエレメントを有する3軸の流体式ジャイロスコープと3軸の流体式加速度センサを一つのシリコン基板上に集積することによって、3軸角速度と3軸加速度を同時に高精度検知することができる。2007年10月から2008年3月までに取り組んだ研究内容を以下に示す。 1)センシングエレメントを一平面上に配置した流体式3軸ジャイロスコープの設計とシミュレーション 検出原理に、角速度が印加されたときにガス分子に作用するコリオリカと、センシングエレメントの熱抵抗効果を利用することで電圧出力を得ることができる。センサを平面上に配置することによって、フォトリソグラフィー技術との適合性が高まり、大量生産、高信頼性につながる。 2)流体式慣性センサ用マイクロジェットポンプの設計・シミュレーションと試作・評価 マイクロポンプのプロトタイプを試作し、その特性を評価した。流体式ジャイロスコープに関して重要な特性であるジェットフローを作り出すことに成功した。 3)流体式慣性センサの製作・パッケージング方法の研究 流体式慣性センサの流路と、センシングエレメントとしてマイクロスケールのSiホットワイヤーブリッジを平面上に製作した。
|
Research Products
(2 results)