2008 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
07F07386
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Research Institution | Ritsumeikan University |
Principal Investigator |
杉山 進 Ritsumeikan University, 立命館グローバル・イノベーション研究機構, 教授
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
THANH Dau Van 立命館グローバル, イノベーション研究機構, 外国人特別研究員
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Keywords | fluidic inertial sensor / jet pump / in-plane hotwire |
Research Abstract |
本研究はMEMS技術を用いた流体式多軸慣性センサの開発に関する研究である。マイクロスケールのセンシングエレメントを有する3軸の流体式ジャイロスコープと3軸の流体式加速度センサを一つのシリコン基板上に集積することによって、3軸角速度と3軸加速度を同時に高精度検知することができる。検出原理に、角速度が印加されたときにガス分子に作用するコリオリカと、センシングエレメントの熱抵抗効果を利用することで電圧出力を得ることができる。センサを平面上に配置することによって、フォトリソグラフィー技術との適合性が高まり、大量生産、高信頼性につながる。2008年4月から2009年3月までに取り組んだ研究内容を以下に示す。 1.流体式慣性センサ用マイクロジェットポンプの設計・シミュレーションと試作・評価 マイクロポンプのプロトタイプを開発・試作し、その特性を評価した。流体式ジャイロスコープに関して重要な特性であるジェットフローを作り出すことに成功した。これを元にMEMS技術でマイクロジェットポンプを製作・評価した。また、センシングエレメントを有するフロウデバイスも作った。 2.流体式慣性センサの製作・パッケージング 流体式ジャイロセンサの流路と、センシングエレメントとしてマイクロスケールのSiホットワイヤーブリッジを平面上に製作した。さらに加速度センサを同一基枚に複合させ、多軸慣性センサ3軸のジャイロセンサと2軸の加速度センサの製作およびパッケージングは成功した。
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Research Products
(16 results)
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[Patent(Industrial Property Rights)] ガスレートジャイロ2008
Inventor(s)
S. Sugiyama, D. V. Dao, V. T. Dau, T. Shiozawa
Industrial Property Rights Holder
S. Sugiyama, D. V. Dao, V. T. Dau, T. Shiozawa
Industrial Property Number
出願番号2008-204156
Filing Date
2008-08-07
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[Patent(Industrial Property Rights)] マイクロポンプ2008
Inventor(s)
K. Tanaka, V. T. Dan, R. Sakamoto, S. Sugiyama
Industrial Property Rights Holder
K. Tanaka, V. T. Dan, R. Sakamoto, S. Sugiyama
Industrial Property Number
出願番号2008-137011
Filing Date
2008-05-26