2007 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
07F07562
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Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
Principal Investigator |
秋永 広幸 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, ナノテクノロジー研究部門, 研究グループ長
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
ZHANG Wenyong 独立行政法人産業技術総合研究所, 外国人特別研究員
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Keywords | 国際研究者交流(中国) / 希土類永久磁石 / 強磁性体薄膜 / 薄膜成長 / 磁気力プローブ顕微鏡 |
Research Abstract |
当研究課題では,希土類永久磁石や希土類・遷移金属・貴金属元素を含む強磁性体のナノ構造を制御することによって,高性能ナノコンポジット強磁性薄膜の実現を目標に研究開発を行っている.より具体的には,第一候補としてPr-Fe-B/Fe系ナノコンポジット薄膜を選択し,そのナノ構造を制御することによって磁気異方性を高め,目標の達成を目指すこととした.また,永久磁石を薄膜化することによってナノ構造を制御しやすくし,そしてそのナノ構造を制御することによって希土類ナノコンポジット永久磁石の持つ潜在的能力を最大限に高めることを目指し,部材の究極の性能を引き出すためのナノ構造機能相関を明らかにするという新しい手法を試みる. 平成19年度は,当初研究計画に従ってPr-Fe-B/Fe系ナノコンポジット薄膜をするためのスパッタ成膜技術の開発を行った.世の中に存在しない組成域でのターゲット形成であったが,スパッタ成膜を可能とするターゲットを銅のパッキングプレート上に作製することが出来た.続いて,実際の成膜を,成膜中ガス圧や基板の温度を変えて行った.その結果,極めて平坦なPr-Fe-B系薄膜を作製することが出来る成膜条件を見出すことに成功し,さらには,基板温度を制御することによって,膜のナノメートル領域での組織が変わることを明らかにした.さらに,そのナノ粗織構造や基板との界面の状況に応じて,Pr-Fe-B系薄膜の磁気異方性や磁気的な硬さが変わることを磁化測定及び磁気力プローブ顕微鏡観察にて明らかにした.これらの成果については,現在,学術雑誌に投稿するための準備を進めているところである.
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