2007 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
07J01490
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Research Institution | The University of Tokyo |
Principal Investigator |
野間 由里 The University of Tokyo, 大学院・新領域創成科学研究科, 特別研究員(DC2)
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Keywords | クライオプラズマ / 液体窒素 / 液体ヘリウム / ヘリウムエキシマー / ITO電極 / 自己組織化 |
Research Abstract |
本研究ではガス温度領域が数千ケルビンから数万ケルビンの熱プラズマ、室温から数千ケルビンの低温プラズマに続く新温度領域である室温から数千ケルビンの低温プラズマに続く新温度領域である室温以下のプラズマ、クライオプラズマの発生・診断を行っており、それと同時に発生・診断により得られる知見からクライオプラズマ応用の可能性も示唆し、プラズマ科学及びプラズマプロセスエ学の新しい研究領域の創成を最終目的とする。研究実施状況としては今までにガス温度を液体ヘリウム温度から室温まで(4〜300K)連続的に制御することができるクライオプラズマを発生させる装置の開発を行った。そして連続的に温度を変化させてヘリウムガスを作動ガスとしてクライオプラズマジェッドの発生を行った。発生に伴う霜などは一切確認されず、継続的なクライオプラズマの安定発生が可能である。プラズマジェットの色や噴き出しの長さは温度とともに変化する。また、このクライオプラズマの発光分光測定を行ったところ励起種がガス温度低下に伴って変化することも確認され、ガス温度が20K以下になるとヘリウム原子の励起状態からの発光だけではなくヘリウムエキシマーからの発光がはっきりと確認された。さらに、透明電極である円盤状のITO電極を用いてクライオプラズマを発生させたところガス温度変化に伴いプラズマの自己組織化パターンも変化することがわかった。これらは雰囲気ガスの温度変化に伴う密度変化や物性変化に起因すると考えられる。
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Research Products
(4 results)