2008 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロプラズマを屈折率変調媒体に利用したアクティブ無機微小光学素子の作製と評価
Project/Area Number |
08J00403
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Research Institution | Osaka University |
Principal Investigator |
溝尻 瑞枝 Osaka University, 大学院・工学研究科, 特別研究員(DC2)
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Keywords | 微細加工プロセス / 非線形光吸収 / フェムト秒レーザ / 微小光学素子 / マイクロプラズマ / 非線形リソグラフィ |
Research Abstract |
マイクロプラズマを用いたアクティブ素子の作製をめざし,本年度はマイクロプラズマを微小光学素子に集積化するために必要となる次の2点について研究を行った. 1,プラズマ生成のためのシールド構造内への微小光学素子の集積化 フェムト秒レーザリソグラフィ支援マイクロマシニング法を適用し,SiO_2製のマイクロ溝構造底部に,フレネルレンズ構造の作製をデモンストレーションした.溝構造と,蓋となる平面基板を接合し,マイクロシールド領域を形成した.流路内に液体を流すことで,マイクロ流路がシールされていることを確認し,プラズマ生成のためのシールド構造内へ微小光学素子を集積化することに成功した. 2,プラズマ生成電極形成のための金属薄膜パターニング プラズマ生成電極を形成するため,溝構造底部へ電極をパターニングする技術として,立体表面基板上へのパターニングが可能な非線形リソグラフィを金属薄膜パターニングに適用した.フェムト秒レーザパルスに誘起される非線形光吸収を利用すると,レジスト内部に直接パターンを書き込むことが可能となり,レジスト膜厚の精密な制御を行うことなく,パターンを形成することができた.このとき,SiO_2基板上へのパターニングと比較すると,金属薄膜上では非線形光吸収が生じる強度閾値が大きく減少するという金属薄膜上特有の現象が得られ,電極形成などの金属薄膜パターニングにおいて貴重な知見が得られた. マイクロプラズマと微小光学素子を集積化するために必要な知見が得られた.今後,本年度作製した集積化素子を用いてプラズマ生成を行い,光とプラズマのインタラクションについて調査する.
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Research Products
(7 results)