2009 Fiscal Year Annual Research Report
超極細シングルトポイントダイヤモンドツールのエッジ形状の高速高精度測定の研究
Project/Area Number |
08J02217
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Research Institution | Tohoku University |
Principal Investigator |
浅井 岳見 Tohoku University, 大学院・工学研究科, 特別研究員(DC1)
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Keywords | AFM / 3次元形状測定 / ダイヤモンド切削工具 / アライメント |
Research Abstract |
本研究では,切れ刃の先端形状が非常に細く加工されたダイヤモンド切削工具について,原子間力顕微鏡(AFM)方式の測定機を用いて,切れ刃形状の評価を行う.本年度は以下の成果を得た. ・超精密旋盤上でのダイヤモンド切削工具の機上形状測定が実現できるように,このような切削工具専用の測定装置を構成した.この装置では,レーザ光を用いた測定対象となる工具先端と測定用のプローブの位置合わせのための機構を,設置した.この位置合わせ機構の作成の過程で,位置合わせ対象形状が鋭利になった場合について位置合わせ方法の有効性の再確認のためのシミュレーションを実施した. ・設置する工作機械の特性等の評価から振動などの影響を受けにくくなるように固定方法の改善を行った.そして,製作した装置を用いて,コーナ半径が200μmの工具およびコーナ半径が30μm,8μmの非常に先端の細いダイヤモンド切削工具の形状測定実験を行った.また,これらの形状測定の結果については,切れ刃稜丸みの評価および切れ刃の輪郭の評価を行っており,走査電子顕微鏡での観察とともに進めている. ・切れ刃稜丸み半径の評価手法について検討した.これまで以上に,人為的な要素が入らない定量的な評価になるように改善し,自動計算ができるように評価方法の改善を実施した.検討してきた方法で切れ刃稜丸み半径を評価した.また,この評価手法については測定に用いるプローブTip側の評価および他の鋭利先端形状の鋭利さの評価としても使用できるかシミュレーションを行った.
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Research Products
(3 results)