2008 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
08J02748
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Research Institution | Kyushu University |
Principal Investigator |
岩下 伸也 Kyushu University, 大学院・システム情報科学研究院, 特別研究員(DC1)
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Keywords | プラズマCVD / ナノブロック / 振幅変調パルス放電 / ポーラス低誘電率膜 / ナノシステム |
Research Abstract |
多数のナノ構造が協調して仕事を行うナノシステムを構築する手法を開発するため,プラズマを用いたナノブロックの作製・輸送・配置・結合の4要素操作から成るナノシステム構築法の研究を行った.現在までに,以下の成果を得た. 1.ナノブロックの合成・輸送・配置・結合の4要素操作の概要をその場で把握する方法を確立するため,ナノブロックのサイズ・数密度の2次元分布を同時測定可能な2次元分布超高感度その場測定法を開発した.ナノブロックのサイズと数密度の測定範囲は,各々1.3nm以上,10^8-10^<12>cm^<-3>である.この手法を用いることで,サイズ10nm以下のナノブロックの生成と輸送に関する情報が得られる. 2.針状電極と振幅変調パルス放電を併用することで,ナノブロックの3次元輸送制御を実現した.放電期間中にナノプロックに働く主要な力は,静電気力とイオン抗力であり,振幅変調中,ナノブロックはパワー電極付近の生成領域から針方向へ主にイオン抗力で輸送されることが分かった.また,振幅変調中にナノブロックは負に帯電しているため,輸送中におけるナノブロック間の凝集を低減できる. 3.振幅変調パルス放電を用いて,比誘電率1.4-2.9,ヤング率10GPa以上の高機械強度ナノ粒子含有ポーラス低誘電率膜の作製に成功した.また,作製したポーラス膜は1MV/cm以上の絶縁破壊電圧,1nA/cm^2以下のリーク電流,400℃以上の耐熱性を有することが分かった.今後,高機械強度ポーラス膜の構造メカニズム解明を進めていく.
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Research Products
(15 results)