2010 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
08J02748
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Research Institution | Kyushu University |
Principal Investigator |
岩下 伸也 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 特別研究員(PD)
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Keywords | イオン抗力 / ナノブロック輸送 / 酸素プラズマ / 自己バイアス電圧 / ナノシステム |
Research Abstract |
多数のナノ構造が協調して仕事を行うナノシステムを構築する手法を開発するため,プラズマを用いたナノブロックの作製・輸送・配置・結合の4要素操作から成るナノシステム構築法の研究を行った.本年度は,派遣先のProf.Czarnetzkiが提案している幾何学的対称容量結合プラズマ中でのイオンエネルギー分布とイオンフラックスの新しい独立制御法(Czarnetzki法)を利用した,幾何学的対称容量結合プラズマ中でのナノブロック非接触マニピュレーション法の開発を行った.現在までに,以下の1.2に示す成果を得ている. 1.Czarnetzki法では,2種類の高周波電圧を合成(13.56MHz+27.12MHz)してパワー電極に印加し,2周波間の位相を制御することにより幾何学的対称容量結合プラズマ中で非対称プラズマを実現するが,これまで負イオンプラズマ中でのCzarnetzki法の有効性は実証されていなかった.本研究では,負イオンをナノブロックと見立てて,酸素プラズマ中でCzarnetzki法を適用した際のプラズマパラメータ測定を行い,酸素プラズマ中で位相を制御することにより,自己バイアス電圧制御が可能であることを示した. 2.テスト用のナノブロックとしてSiO_2ナノ粒子(粒子サイズ:80-300nm)を用い,2次元レーザー散乱法によりArプラズマ中でのナノブロックの挙動を観察した.幾何学的対称容量結合プラズマ中では,パワー電極方向に働くイオン抗力とプラズマ方向に働く静電気力のバランスによりナノブロックはパワー電極付近のプラズマ-シース領域に留まる.位相を変化させることにより,プラズマ-シース領域に捕捉したナノブロックの輸送制御に成功した.
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Research Products
(2 results)