1997 Fiscal Year Annual Research Report
ホットフィラメント・アシスト・スパッタ法による高配向性カーボン薄膜
Project/Area Number |
09650351
|
Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
|
Research Institution | Shinshu University |
Principal Investigator |
小沼 義治 信州大学, 工学部, 教授 (40020979)
|
Keywords | Thin Film / Polycrystalline film / Sputtering / Carbon / Carbyne / Chaoite |
Research Abstract |
炭素は、ダイヤモンド、グラファイトの他にニューカーボンと呼ばれる比較的新しい形態を持っている。ニューカーボンの中では、フラーレン、カーボン・ナノチューブ等が注目され、研究が進んでいるが、本研究は、Carbyneと呼ばれる新しい炭素形態の生成をホットフィラメント・アシスト・スパッタ法により作成し、その生成膜の電気的、結晶学的評価と電子デバイスへの応用に関するものである。本年度の研究実施計画である(1)「高配向性カーボン薄膜の作成プロセスの確立と電気的諸特性の測定」、(2)「高配向性カーボン薄膜の成長機構及び結晶構造の確定」、に対して得られた成果は以下の通りである。 研究成果: 本研究で作成されるカーボン薄膜は、タングステンフィラメント温度の違いによりその形態が異なっている。そこで、新しい構造のフィラメント放出源を作成し、炭素薄膜構造に与えるフィラメント温度依存性を調べ、以下の点を明らかにした。 (a)電子放出源として用いたタングステン熱フィラメントを1800[℃]以上に加熱することは、炭素薄膜の結晶化及びCarbyneの生成に有効である。 (b)タングステン温度2000[℃]以上において、優越配向したCarbyne薄膜が生成された。炭素薄膜の形態は、炭素の擬一次元形態を持つCarbyneで、そのポリタイプはChaoiteである。 (c)Carbyne薄膜の電気的特性において、高導電性を持つこと(設備備品費にて購入測定器にて測定)、組織構造的には、超微粒子より成り立つことを見いだし、新しい機能性を持ち併せているので、その応用面が期待される。 これらの成果の一部については、“Applied Surface Science"(Vol.121/122,1997)に発表した。結晶性炭素薄膜の生成と評価、電気的諸特性、結晶構造解析については、電子情報通信学会研究会(CPU-97,117,1997),電子情報通信学会信越支部大会(#I-15,1997)、電気学会東海支部大会(#342,1997)に発表した。
|
Research Products
(4 results)
-
[Publications] Y.Onuma, et al: "Highly preferred carbon thin films obtained by DC magnetron sputtering with a hot filament" Applied Surface Science. 121/122. 156-159 (1997)
-
[Publications] Y.Onuma, et al: "Preparation and Properties of Boren Thin Films" Journal of Solid State Chemistry. 133. 100-103 (1997)
-
[Publications] Y.Onuma, et al: "Preparation and Piezoresistive Properties of Polycrystalline SnO_2 Films" Japanese Journal of Applied Physics. 37・3 (to be published). (1998)
-
[Publications] 上村喜一, 小沼義治他: "光ファイバーを用いた位置速度センサの試作" 先端加工学会誌. 16-1. 25-30 (1997)