1998 Fiscal Year Annual Research Report
UMS技術による新しい結晶表面加工層・変質層の検出・評価法の開発
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10555099
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
櫛引 淳一 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50108578)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
田中 光弘 (株)光学技研, 製造部開発課, 開発課長(研究職)
佐橋 家隆 (株)山寿セラミックス, 晶研事業部, 開発部長(研究職)
庭野 道夫 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (20134075)
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| Keywords | 超音波マイクロスペクトロスコピー / 定量評価法 / V(z)曲線解析法 / 漏洩弾性波表面波伝搬特性 / 反射係数測定法 / 結晶表面評価法 / 表面加工層・変質層 / LiNbO_3・LiTaO_3 |
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| Research Abstract |
本研究では、本研究代表者らが発明・開発した超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)技術を材料基板表面の問題に適用し、その評価法の開発を行うものである。
平成10年度の研究成果を要約すると以下の通りである。
1. LFBシステムの安定化:高信頼性データを得るため、自動試料搬送装置を導入し、測定に用いる恒温純水の自動給排水機構を開発した。そして、速度測定分解能0.001%を実現し、長時間測定可能なシステムに改良した。
2. LFBシステムによる基礎実験法の確立:表面加工層・変質層のある試料に対してLSAWの伝搬特性を広い周波数帝にわたって測定できるシステムと実験手順を確立した。
3. 超精密格子定数測定(ボンド法)用X線回折装置の構築:高安定・高精度のシステムを実現し、1×10^<-6>Å以上の分解能を達成した。マイクロ・ロッキング・カーブによりモデル結晶基板に対して、その表面加工層の評価の基礎を確立した。。
4. LFBシステムによって測定されるLSAWの伝搬特性の理論数値解析:層状構造モデルにより基板表面の評価や物質界面の残留応力等を解釈するために必要なプログラムを開発した。
5. 基板表面加工層・変質層の超音波による評価法の開発:4種類の研磨工程の異なるガラス(合成石英)試料に対して基礎実験を行い、縦波反射係数測定の行い、その変化をとらえるのに成功し、本超音波法による基板表面層の評価法の可能性を実証した。
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