電子励起を用いた原子分子操作

1999 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11222101
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (B)
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 前田 康二 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (10107443)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 上浦 洋一 岡山大学, 工学部, 教授 (30033244) ; 金崎 順一 大阪市立大学, 工学部, 助教授 (80204535) ; 長岡 伸一 東京大学, 分子科学研究所, 助教授 (30164403) ; 篠塚 雄三 和歌山大学, システム工学部, 教授 (30144918) ; 萱沼 洋輔 大阪府立大学, 工学部, 教授 (80124569)
• Keywords: 電子励起 / 原子分子操作 / 半導体 / ナノプロセス / 光励起 / 表面制御 / 欠陥制御 / サイト選択性

Research Abstract

本研究領域全体を推進するために、以下に示す活動を行った。
まず、本特定領域の採択内定後ただちに第1回総括班会議(平成11年8月31日、大阪、大阪大学工業会)を開催し、今後2年半にわたる領域の研究推進方法について討論し、個別研究計画の再検討を行った。その後、平成11年10月8,9日に第1回研究会(東京、ホテル ニューオータニイン東京)を開き、各計画研究班からそれまでの研究成果の発表を行うとともに、準備状況をふまえて研究計画をメンバー全員で再検討した。平成12年1月28日には第1回公開シンポジウム(東京、ホテル フロラシオン東京)を関係研究者を広く集め開催し、本特定領域研究の研究の背景、歴史、準備状況、研究成果、今後の計画に関して公表し公開討論を行った。翌29日に第2回研究会(東京、TEPIA)を引き続いて開催し、各計画研究班から研究成果の発表を行った。とくに「原子・分子操作は空間的にどこまで選択的に局在させることができるか」についてグループディスカッションを行い、今後どこに研究の焦点を絞るべきか等、協力研究に関して討論した。併せて第2回総括班会議(東京、TEPIA)を開催し、各計画研究の今年度の進捗状況のチェックを行った。また、次年度以降の連携的研究の企画を行い、二つの重要な共同研究対象を設定した。すなわち応用上もっとも重要なSi系での原子操作の典型例として「Si表面上の水素」、s-p結合による多様な構造変化が期待できる「アモルファスC」である。
一方、インターネット上にホームページを開設し、本研究領域の情報公開・成果公表に努めるとともに、ニュースレターを3回発行し、広く関連する研究者・企業にも配布した。No.1では本特定領域の研究計画とメンバーの紹介を、No.2とNo.3では研究会とシンポジウムの報告(講演要旨+質疑応答)を編集・出版した。

Research Products

• [Publications] 前田康二: "塩素吸着シリコン表面のレーザー励起エッチング"表面科学. 20・6. 393-400 (1999)
• [Publications] S. Nagaoka: "Site-Specific Phenomena in Si:2p Core-Level Photoionization of X3Si(CH2)nSi(CH3)3(X=F or Cl, n=0-2) Condensed on a Si(111) Surface"Chem. Phys.. 249. 15-27 (1999)
• [Publications] N. Itoh: "Laser-Induced Desorption from STM-Selected Semiconductor Sites"Progress in Surface Science. 61. 1-19 (1999)
• [Publications] K. Ueda: "Two-dimensional hydrogen analysis of hydrogen strage alloy surface by electron-stimulated desorption microscopy"Jpn. J. Appl. Phys. Letter. 未定(印刷中). (2000)
• [Publications] T. Meguro: "Multiply-charged ion beam induced dry etching of semiconductor materials"Materials Science and Engineering B. 未定(印刷中). (2000)
• [Publications] Y. Kamiura: "Photo-Enhanced Dissociation of Hydrogen-Magnesium Complexes in Gallium Nitride"Physica B. vols.273-274. 54-57 (1999)
• [Publications] S. Itoh: "Vibronic theory of the x-ray absorption of CF_4 molecules"Phys. Rev. A. Vol.60,Num.6. 4488-4493 (1999)
• [Publications] Y. Shinozuka: "Defects in Optoelectronic Materials, Ed. by K. Wada and S.W. Pang. chapter 2.1"Gordon and Bleach Publisher. 400 (2000)