AFM触針を用いた微小領域における機能的表面テクスチャ作成装置の開発

1999 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11750106
• Research Institution: Nihon University
• Principal Investigator: 小林 義和 日本大学, 工学部, 助手 (60277390)
• Keywords: トライボロジー / 表面テクスチャ / 精密加工

Research Abstract

平成11年度はテクスチャ作成装置を作成した.その作成段階において得られた知見を以下に示す.
1.テクスチャ作成ソフトウェアの開発
自己回帰モデルを用いたランダム表面テクスチャ作成CADシステムを構築した.このシステムでは人間の感性語句をパラメータとしてテクスチャ形状を変化させる.したがって,操作しやすいユーザインターフェイスとなっている.このシステムを今回作成したテクスチャ作成装置に組み込むことにより,実表面を機械加工により作成する予定である.
2.AFM触針の固有振動数の決定
今回のシステム用に高剛性を有するカンチレバーを持った触針を作成した.この触針の固有振動数を調べ,針を試料表面に押し込む際に最大荷重を得られるようにした.また,任意の荷重を発生させるため,入力信号の周波数と触針先端部の振幅との関係を調べた.
3.装置の制御とデータ入出力部の作成
今回作成した装置はx,y,z軸の制御,触針の振幅制御等の制御データ入力および各構成装置からの結果出力をしなければならない.そのためインターフェイスにはGP-IBを用い各構成装置を同時に制御し,データ収集をしている.
以上,平成11年度はテクスチャ装置を作成したので,次年度はこの装置をもとに実際の制御されたテクスチャ表面を作成し,評価・検討を行っていく予定である.